Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Spiegel zur Reflexion von EUV-Strahlung in Strahlung im Spektralbereich zwischen 6 nm und 10 nm und optische Anordnung mit dem Spiegel
Naujok, Philipp; Yulin, Sergiy; Kaiser, Norbert; Wezyk, Alexander von; Bergmann, Klaus
Patent
2017Spiegel zur Reflexion von EUV-Strahlung mit Spannungskompensation und Verfahren zu dessen Herstellung
Kaiser, Norbert; Murray, Kevin; Naujok, Philipp; Yulin, Sergiy
Patent
2016Neue optische Oberflächen
Kaiser, Norbert
Journal Article
2016Verfahren zur Herstellung eines Reflektorelements und Reflektorelement
Schürmann, Mark; Schwinde, Stefan; Müller, Robert; Kaiser, Norbert
Patent
2015Advanced coatings for next generation lithography
Naujok, Philipp; Yulin, Sergiy A.; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Conference Paper
2015Anorganisch-organische Hybridschichten für die Entspiegelung optischer Oberflächen
Schulz, Ulrike; Munzert, Peter; Rickelt, Friedrich; Präfke, Christiane; Gratzke, Nancy; Knopf, Heiko; Wolleb, Sabrina; Kaiser, Norbert
Journal Article
2015Description of particle induced damage on protected silver coatings
Schwinde, Stefan; Schürmann, Mark; Jobst, Paul Johannes; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Journal Article
2015Estimation of the composition of coelectron-beam-evaporated thin-mixture films by making use of the Wiener bounds
Franke, Christian; Stenzel, Olaf; Wilbrandt, S.; Wolf, Josephine; Kaiser, Norbert; Tünnermann, A.
Journal Article
2015Gradient index antireflection coatings on glass containing plasma-etched organic layers
Schulz, Ulrike; Rickelt, Friedrich; Ludwig, Henning; Munzert, Peter; Kaiser, Norbert
Journal Article
2015La/B4C multilayer mirrors with an additional wavelength suppression
Naujok, Philipp; Yulin, Sergiy; Bianco, Anna; Mahne, Nicola; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Journal Article
2015Metal mirrors with metal-dielectric HR-coating for ultrashort laser pulses applied in scanner applications
Schürmann, Mark; Risse, Stefan; Kämmer, H; Franke, Christian; Schlegel, Ralph; Müller, Sandra; Damm, Christoph; Steinkopf, Ralf; Dreisow, F.; Nolte, Stefan; Eberhardt, Ramona; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2015Optisches Element mit einer reflektierenden Beschichtung
Schürmann, Mark; Schwinde, Stefan; Kaiser, Norbert
Patent
2015Plasma-ionengestütztes Beschichtungverfahren und Plasmasonde
Gäbler, Dieter; Kaiser, Norbert; Ohl, Andreas; Köpp, Daniel; Foest, Rüdiger; Harhausen, Jens
Patent
2015Preface to the special issue of selected papers from Frontiers of Optical Coatings 2014
Kaiser, Norbert; MacLeod, Hugh Angus; Liu, Xü,; Wang, Zhanshan
Conference Paper, Journal Article
2015UV-verstärkte Silberschichten
Schwinde, Stefan; Schürmann, Mark; Kaiser, Norbert
Journal Article
2015Verfahren zur Herstellung einer Entspiegelungssschicht auf einer Silikonoberfläche und optisches Element
Schulz, Ulrike; Rickelt, Friedrich; Munzert, Peter; Kaiser, Norbert
Patent
2014Antireflection coating for sapphire with consideration of mechanical properties
Gödeker, Christoph; Schulz, Ulrike; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Journal Article, Conference Paper
2014Breakthroughs in photonics 2013: Organic nanostructures for antireflection
Schulz, Ulrike; Munzert, Peter; Rickelt, Friedrich; Kaiser, Norbert
Journal Article
2014Breitbandige Entspiegelung optischer Oberflächen mittels doppelter Nanostrukturen
Schulz, Ulrike; Niemann, Anke; Kaiser, Norbert
Journal Article
2014A double nanostructure for wide-angle antireflection on optical polymers
Schulz, Ulrike; Rickelt, Friedrich; Munzert, Peter; Kaiser, Norbert
Journal Article
2014Ex situ characterization of optical coatings by means of spectrophotometry
Wilbrandt, Steffen; Stenzel, Olaf; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2014Optical properties of unprotected and protected sputtered silver films: Surface morphology versus UV/VIS reflectance
Jobst, Paul Johannes; Stenzel, Olaf; Modsching, N.; Yulin, Sergiy; Wilbrandt, Steffen; Schürmann, Mark; Gäbler, Dieter; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Journal Article
2014Optical properties of UV-transparent aluminum oxide / aluminum fluoride mixture films, prepared by plasma-ion assisted evaporation and ion beam sputtering
Stenzel, Olaf; Wilbrandt, Steffen; Du, Shan; Franke, Christian; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas; Mende, Mathias; Ehlers, Henrik; Held, Mario
Journal Article
2014Protected and enhanced aluminum mirrors for the VUV
Wilbrandt, Steffen; Stenzel, Olaf; Nakamura, Hiroshi; Wulff-Molder, Dirk; Duparré, Angela; Kaiser, Norbert
Journal Article
2014Verfahren zur Herstellung einer Entspiegelungsschicht
Schulz, Ulrike; Munzert, Peter; Rickelt, Friedrich; Kaiser, Norbert
Patent
2014Verfahren zur Herstellung einer Entspiegelungsschicht auf einem Substrat und Substrat mit einer Entspiegelungsschicht
Schulz, Ulrike; Ludwig, Henning; Kaiser, Norbert; Munzert, Peter
Patent
2014ZnO:Al films prepared by inline DC magnetron sputtering
Bingel, Astrid; Füchsel, Kevin; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Journal Article
2013Effective optical constants of evaporated silver and copper island ultrathin films
Stenzel, Olaf; Wilbrandt, Steffen; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2013Hybrid antireflective coating with plasma-etched nanostructure
Schulz, Ulrike; Munzert, Peter; Rickelt, Friedrich; Kaiser, Norbert
Journal Article, Conference Paper
2013Investigations on nanostructuring of polycarbonate for anti-reflection purposes
Munzert, Peter; Präfke, Christiane; Schulz, Ulrike; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2013Lifetime and refurbishment of multilayer LPP collector mirrors
Feigl, Torsten; Perske, Marco; Pauer, Hagen; Fiedler, Tobias; Yulin, Sergiy; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas; Böwering, Nobert R.; Ershov, Alex I.; Dea, Silvia de; Hoffmann, Kay; Fontaine, Bruno la; Fomenkov, Igor V.; Brandt, David
Conference Paper
2013Multilayer-Spiegel für den EUV-Spektralbereich
Yulin, Sergiy; Nesterenko, Viatcheslav; Kaiser, Norbert
Patent
2013Optische in-situ Prozessverfolgung und -steuerung: Messung des Transmissions- und Reflexionsvermögens wachsender Schichten
Gäbler, Johannes; Stenzel, Olaf; Wilbrandt, Steffen; Kaiser, Norbert
Journal Article
2013Plasmaätzen organischer Schichten für die Entspiegelung optischer Oberflächen
Schulz, Ulrike; Präfke, Christiane; Munzert, Peter; Ludwig, Henning; Rickelt, Friedrich; Kaiser, Norbert
Journal Article
2013Practical optimization of a coating deposition process by application of hybrid monitoring strategies in an industrial production environment
Held, Mario; Wilbrandt, Steffen; Stenzel, Olaf; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Journal Article
2013Preparation and properties of high refractive index tantalum pentoxide coatings deposited by plasma ion assisted deposition with xenon or argon assistance
Stenzel, Olaf; Wilbrandt, Steffen; Schlegel, Ralph; Böhme, Matthias; Kaiser, Norbert
Journal Article
2013Preparation of UV-VIS high index coating materials with PIAD using xenon as working gas
Wilbrandt, Steffen; Stenzel, Olaf; Schlegel, Ralph; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2013Protected and enhanced aluminum mirrors for the VUV
Wilbrandt, Steffen; Stenzel, Olaf; Nakamura, Hiroshi; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2013Pulsed DC magnetron sputtering of transparent conductive oxide layers
Bingel, Astrid; Füchsel, Kevin; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Journal Article
2013Ultraviolet/visible and Fourier transform infrared spectroscopic investigations of organic-inorganic hybrid layers for UV protection
Präfke, Christiane; Schulz, Ulrike; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Journal Article, Conference Paper
2013Verfahren zur Bestimmung der Feuchtedurchlässigkeit einer Beschichtung
Schulz, Ulrike; Kaiser, Norbert
Patent
2012Adhesion of vacuum deposited optical coatings on PMMA and polycarbonate
Munzert, Peter; Präfke, Christiane; Schulz, Ulrike; Kaiser, Norbert
Journal Article
2012Aluminiumbasierte Reflektoren für das DUV und VUV
Wilbrandt, Steffen; Stenzel, Olaf; Heiße, Hanno; Kaiser, Norbert
Journal Article
2012Antireflective nanostructures for low-index substrates
Schulz, Ulrike; Munzert, Peter; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2012Dielektrisch verstärkte Aluminiumspiegel für VUV-Anwendungen
Wilbrandt, Steffen; Stenzel, Olaf; Heiße, Hanno; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2012Entspiegelung von Glas durch Kombination von Interferenzschichten mit plasma-geätzten Nanostrukturen
Schulz, Ulrike; Munzert, Peter; Präfke, Christiane; Rickelt, Friedrich; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2012Herstellung und Charakterisierung nanostrukturierter ITO-Elektroden
Pulsack, Julian; Füchsel, Kevin; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2012Manufacture and characterization of optical coatings with incorporated copper island films
Held, Mario; Stenzel, Olaf; Wilbrandt, Steffen; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Journal Article
2012Nanostrukturen zur Verbesserung der Lackhaftung auf Kunststoffoberflächen
Munzert, Peter; Präfke, Christiane; Schulz, Ulrike; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2012Nanostrukturierte Grenzflächen und dünne Schichten für die Photovoltaik
Füchsel, Kevin; Bingel, Astrid; Blumröder, Ulrike; Schulz, Ulrike; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2012Optical performance of LPP multilayer collector mirrors
Feigl, Torsten; Perske, Marco; Pauer, Hagen; Fiedler, Tobias; Yulin, Sergiy; Trost, Marcus; Schroeder, Sven; Duparré, Angela; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas; Böwering, Norbert; Ershov, Alex; Hoffmann, Kay; La Fontaine, Bruno; Cummings, Kevin D.
Conference Paper
2012Optical reflector coatings for astronomical applications from EUV to IR
Schürmann, Mark; Jobst, Paul Johannes; Yulin, Sergiy; Feigl, Torsten; Heiße, Hanno; Wilbrandt, Steffen; Stenzel, Olaf; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2012Organische UV-Schutzschichten für die Polycarbonatverglasung
Präfke, Christiane; Schulz, Ulrike; Kaiser, Norbert
Journal Article
2012Polierbare Siliziumschichten zur Herstellung ultra-präziser optischer Komponenten
Jobst, Paul Johannes; Schürmann, Mark; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2012Simulation der Abscheidung von dielektrischen Schichtsystemen auf große optische Bauteile
Franke, Christian; Schürmann, Mark; Wilbrandt, Steffen; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2012Strukturierbare reflexionsgeminderte Chromschichten
Schürmann, Mark; Jobst, Paul-Johannes; Kaiser, Norbert; Luck, Frank-Ulrich; Beier, Bernd; Thaut, Michael
Journal Article
2012Tailoring optical and non-optical properties of interference coating materials through the explicit use of small-scale optical inhomogeneities
Stenzel, Olaf; Schulz, Ulrike; Kaiser, Norbert
Journal Article
2012UV/VIS and FTIR spectroscopic investigations of organic-inorganic hybrid layers for UV protection
Präfke, Christiane; Schulz, Ulrike; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Conference Paper
2012V2011 Workshop "Beschichtungen für den optischen Gerätebau"
Kaiser, Norbert
Journal Article
2006DUV-reflective coatings and novel actuator materials for light modulator arrays
Schmidt, Jan-Uwe; Friedrichs, Martin; Sandner, Thilo; Heber, Jörg; Rudloff, Dirk; Lakner, Hubert; Yang, M.; Gatto, A.; Kaiser, Norbert
Presentation