Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1996Particle measurements in turbulent flow areas as as part of investigations at cleanroom equipment
Kahlden, T. von
Conference Paper
1994Grundlagen der Partikelmessung und Partikelmessung in Flüssigkeiten
Kahlden, T. von
Conference Paper
1994Optimierte Durchführung von Partikelmessungen durch Steigerung des Know-hows des Meßdurchführenden
Kahlden, T. von
Conference Paper
1993Abnahmemessungen von Reinräumen - Meßgeräte und deren Einsatzgrenzen
Kahlden, T. von
Journal Article
1993Halbleitermesse der Superlative. 45000 Besucher auf der Semicon West in San Francisco
Kahlden, T. von
Conference Paper
1993Meßgeräte und Vorgehensweisen bei Abnahmemessungen in Reinräumen
Kahlden, T. von
Conference Paper
1993Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.; Kahlden, T. von
Conference Paper
1993Personal und Fertigung im Reinraum
Kahlden, T. von
Conference Paper
1992The future practice on contamination control. ICCS Symposium
Kahlden, T. von; Schließer, J.
Conference Paper
1992Inbetriebnahme von Reinräumen
Kahlden, T. von
Journal Article
1992Instrumentation for measuring and monitoring cleanroom suitability of equipment
Kahlden, T. von
Conference Paper
1992Monitoring in reinraumtechnischen Anlagen - Statistische Verfahren
Kahlden, T. von
Journal Article
1992Partikelmeßtechnik auf dem Prüfstand
Ernst, C.; Grimme, R.; Kahlden, T. von; Müller, B.
Journal Article
1992Qualifizierung von Fertigungsgeräten und Komponenten für den Einsatz unter Reinraumbedingungen
Kahlden, T. von
Conference Paper
1992Statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Conference Paper
1991Herstellung reinraumgerechter Fertigungsmittel
Kahlden, T. von
Conference Paper
1991Partikelmessungen in der Luft
Kahlden, T. von
Conference Paper
1991Reinraum und Arbeitsbereich. Anforderungen, Umgebungsüberwachung. Federal Standard 209D vom 15. Juni 1988, ersetzt Federal Standard 209C vom 27. Oktober 1987
: Kahlden, T. von
Book
1991Reinraumgerächt. Bei der Herstellung von Fertigungsmitteln für Reinräume rächen sich kleine Fehler mit großer Wirkung
Kahlden, T. von
Journal Article
1991Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Conference Paper
1991Systematische Vorgehensweise und statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel bei Untersuchungen von Fertigungsgeräten auf Reinheitstauglichkeit
Kahlden, T. von
Conference Paper
1990Economical feasibility study of local cleanrooms as an alternative for conventional cleanrooms in semiconductor manufacturing
Kahlden, T. von
Conference Paper
1990Fertigen im Reinraum. Probleme und Lösungsansätze
Kahlden, T. von; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Journal Article
1990Partikelmessung in der Luft
Kahlden, T. von
Conference Paper
1990Partikelmessungen in der Luft
Kahlden, T. von
Conference Paper
1990Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Journal Article
1990Vorgehensweisen zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.
Conference Paper
1989Contamination measurement and analysis for ultra clean manufacturing devices
Herz, R.; Kahlden, T. von; Klumpp, B.; Schmutz, W.
Conference Paper
1989Richtlinienentwurf - Standardisierung von Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit
Degenhart, E.; Geißinger, J.; Kahlden, T. von
Journal Article
1989Staubarm ist nicht rein. Partikelquellen bei Fertigungsabläufen im Reinraum
Geißinger, J.; Kahlden, T. von; Klumpp, B.
Journal Article
1989Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit. Prüfzentrum für Halbleiterfertigungsgeräte
Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.
Journal Article
1989Vorgehensweise zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Conference Paper
1988Evaluation of semiconductor manufacturing equipment with respect to particle generation
Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Conference Paper
1988Procedures for testing clean room suitability of manufacturing equipment
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.; Geissinger, J.; Kahlden, T. von
Conference Paper
1988Staubarm ist nicht rein. Partikelquellen bei Fertigungsläufen im Reinraum
Klumpp, B.; Geissinger, J.; Kahlden, T. von
Journal Article
1988Stroemungsausbildung an Fertigungsgeraeten fuer den Reinraum-Einsatz. Tl.2
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.; Geissinger, J.; Kahlden, T. von
Journal Article
1987Automatisierungs-Gesichtspunkte fuer Halbleiterfertigungsgeraete
Fruehauf, W.; Kahlden, T. von; Mack, A.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.
Conference Paper
1987Defekt-Detektion auf unstrukturierten Wafern in der Halbleiterfertigung. Tl.1
Herz, R.; Kahlden, T. von; Mack, A.; Schmutz, W.
Journal Article
1987Defekt-Detektion auf unstrukturierten Wafern. Tl.2
Herz, R.; Kahlden, T. von; Mack, A.; Schmutz, W.
Journal Article
1987Defekt-Detektion auf unstrukturierten Wafern. Tl.3
Herz, R.; Kahlden, T. von; Mack, A.; Schmutz, W.
Journal Article
1987Studie über den Stand der Technik und zukünftige Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren
Aderhold, W.; Frühauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Study
1986Studie ueber den Stand der Technik und zukuenftige Anforderungen an Fertigungseinrichtunen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Beruecksichtigungen verschiedener Herstellungsverfahren
Aderhold, W.; Fruehauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Study
1985Beruehrungslose Stroemungsgeschwindigkeitsmessung mit dem Laser-Doppler-Anemometer
Kahlden, T. von
Journal Article
1985Im Zehntel-Schritt - beruehrungslose Geschwindigkeitsmessung mit dem Laser-Doppler-Anemometer
Kahlden, T. von
Journal Article
1985Prozessrechnergesteuertes Laser-Doppler-Anemometer
Denner, W.J.; Schmutz, W.; Kahlden, T. von
Journal Article