Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Pizoelektrischer Stapelaktuator und Verfahren zur Herstellung desselben
Bandorf, Ralf; Kaden, Dirk; Ortner, Kai; Quenzer, Hans-Joachim
Patent
2017MEMS switch with prolonged lifetime under hot switching conditions based on gold as contact material
Lisec, T.; Stoppel, F.; Kaden, D.; Heinrich, F.; Neumann, A.; Wagner, B.
Conference Paper
2017Mikromechanisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen mikromechanischen Bauteils
Senger, Frank; Hofmann, Ulrich; Kaden, Dirk
Patent
2017Novel membrane-less two-way MEMS loudspeaker based on piezoelectric dual-concentric actuators
Stoppel, F.; Eisermann, C.; Gu-Stoppel, S.; Kaden, D.; Giese, T.; Wagner, B.
Conference Paper
2017Quantifying uncertainties in reusing lithium-ion batteries from electric vehicles
Rohr, Stephan; Müller, Stefan; Baumann, Michael; Kerler, Matthias; Ebert, Fabian; Kaden, D.; Lienkamp, Markus
Journal Article, Conference Paper
2016New designs for MEMS-micromirrors and micromirror packaging with electrostatic and piezoelectric drive
Gu-Stoppel, S.; Stenchly, V.; Kaden, D.; Quenzer, H.J.; Wagner, B.; Hofinann, U.; Dudde, R.
Conference Paper
2015Entwicklung und Integration von in-situ Sputterprozessen für PZT zum Einsatz in MEMS Aktuatoren
Kaden, D.
Dissertation
2015Gas flow sputtered thick layers of columnar lead zirconate titanate on silicon wafers for high frequency ultrasound transducers
Tiefensee, F.; Kaden, D.; Jakob, A.; Quenzer, H.-J.; Jung, T.
Journal Article, Conference Paper
2015Herstellung und Integration von piezoelektrischen Pb(ZrxTi1-x)O3-Schichten außerordentlicher Schichtdicke für die Erschließung neuer Anwendungsgebiete
Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Wagner, B.; Kößler, D.; Sichelschmidt, J.; Jakob, A.; Jung, T.; Tiefensee, F.
Conference Paper
2014Vorrichtung mit einer Feder und einem daran aufgehängten optischen Element
Gu-Stoppel, Shanshan; Kaden, Dirk; Eisermann, Christian
Patent
2013Design, fabrication and characterization of low-voltage piezoelectric two-axis gimbal-less microscanners
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Quenzer, H.J.; Hofmann, U.; Kaden, D.; Wagner, B.; Benecke, W.
Conference Paper
2013Mehrachsiger piezoelektrischer Aktuator für optische Komponenten
Kampmann, M.; Stoppel, F.; Quenzer, H.-J.; Kaden, D.; Janes, J.; Wagner, B.
Conference Paper
2013Piezoelectric resonant micromirror with high frequency and large deflection applying mechanical leverage amplification
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Kaden, D.; Quenzer, H.J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Conference Paper
2012High speed piezoelectric microscanners with large deflection using mechanical leverage amplification
Gu-Stoppel, S.; Kaden, D.; Quenzer, H.J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Journal Article, Conference Paper
2012Influence of platinum bottom electrodes on the piezoelectric performance of PZT thin films hot sputtered in a high volume production tool
Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Kratzer, M.; Castaldi, L.; Wagner, B.; Heinz, B.; Mamazza, R.
Conference Paper
2012Optimised piezoelectric PZT thin film production on 8 silicon wafers for micromechanical applications
Kaden, D.; Gu-Stoppel, S.; Quenzer, H.-J.; Kaltenbacher, D.; Wagner, B.; Dudde, R.
Conference Paper
2011Entwicklung und Integration eines Hochratensputterprozesses für Blei-Zirkonat-Titanat-Dünnschichten
Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Wagner, B.; Ortner, K.; Jung, T.; Jakob, A.; Tiefensee, F.
Conference Paper
2011In-situ large scale deposition of PZT films by RF magnetron sputtering
Kratzer, M.; Castaldi, L.; Heinz, B.; Mamazza, R.; Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Wagner, B.
Conference Paper
2011Influence of platinum bottom electrode on the piezoelectric performance of hot RF sputtered PZT films
Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Wagner, B.; Kratzer, M.; Castaldi, L.; Heinz, B.; Mamazza, R.
Conference Paper
2010Preparation of functional PZT Films on 6 and 8 silicon wafers by high rate sputtering
Dudde, R.; Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Wagner, B.
Conference Paper