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| 2012 | Deposition of Nb-doped TiO2 films on large area by co-sputtering with precise process control
Fietzke, F.; Junghähnel, M. | Conference Paper |
| 2012 | Herstellung und Charakterisierung von transparenten elektrisch leitfähigen TiO2:Nb-Dünnschichten durch Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern
Junghähnel, Manuela | Dissertation |
| 2012 | Recent developments of TiO2:Nb sputtered with high deposition rates from a rotatable magnetron system
Junghähnel, M.; Fietzke, F.; Vinnichenko, M.; Cornelius, S. | Conference Paper |
| 2011 | Transparentes leitfähiges TiO2:Nb - ein TCO-Material der Zukunft?
Junghähnel, M.; Kopte, T.; Zywitzki, O. | Journal Article |
| 2010 | High temperature resistant coatings of transparent and conductive Nb doped Titania (TiO2:Nb) for solar cell applications
Junghähnel, M.; Heimke, B.; Hartung, U.; Kopte, T. | Conference Paper |
| 2010 | ITO thin films prepared by synchronal pulsed RF-DC sputtering
Heimke, B.; Nyderle, R.; Junghähnel, M.; Hartung, U.; Kopte, T.; Junghähnel, M. | Conference Paper |
| 2010 | Properties of transparent conductive niobium doped titania (TNO) thin film deposited by large area DC and pulsed DC sputtering
Junghähnel, M.; Heimke, B.; Hartung, U.; Kopte, T.; Zywitzki, O. | Conference Paper |
| 2010 | Synchronal pulsed RF superimposed DC sputtering of aluminium doped zinc oxide (ZnO:Al)
Heimke, B.; Hartung, U.; Kopte, T.; Junghähnel, M.; Nyderle, R. | Conference Paper |
| 2008 | RF superimposed DC sputtering of zinc tin oxide (ZTO) and indium zinc oxide (IZO)
Heimke, B.; Kopte, T.; Hartung, U.; Nyderle, R.; Junghähnel, M.; Krause, U.; Braun, J. | Conference Paper |
| 2007 | Verfahren zur Herstellung eines Duennschichtsystems
Winkler, T.; Goedicke, K.; Bluethner, R.; Junghaehnel, M.; Buchberger, H.; Mueller, M.; Hebgen, A.; Schneider, H. | Patent |
| 2004 | Verfahren zum Beschichten von Magnetspeicherplatten und danach hergestellte Magnetspeicherplatte
Buchberger, H.; Mueller, M.; Schneider, H.; Baur, H.; Lehnert, K.; Goedicke, K.; Winkler, T.; Junghaehnel, M.; Bluethner, R. | Patent |
| 2003 | Verfahren und Einrichtung zum Betreiben von Magnetronentladungen
Goedicke, K.; Winkler, T.; Junghaehnel, M.; Fietzke, F.; Kirchhoff, V.; Reschke, J. | Patent |
| 2002 | Verfahren und Schaltungsanordnung zur pulsfoermigen Energieeinspeisung in Magnetronentladungen
Goedicke, K.; Winkler, T.; Junghaehnel, M.; Handt, K.; Gueldner, H.; Wolf, H.; Eckholz, F. | Patent |
| 2001 | Verfahren und Einrichtung zur pulsfoermigen Energiezufuehrung fuer ein Niederdruckplasma und deren Anwendung
Frach, P.; Goedicke, K.; Junghaehnel, M.; Kirchhoff, V.; Winkler, T.; Handt, K. | Patent |
| 2000 | A novel topology for pulse generators in magnetron sputter systems
Güldner, H.; Wolf, G.-K.; Eckholz, F.; Schrade, F.; Winkler, T.; Handt, K.; Junghähnel, M. | Conference Paper |
| 2000 | Schaltungsanordnung und Verfahren zum Einspeisen von Elektroenergie in ein Plasma
Junghaehnel, M.; Handt, K.; Goedicke, K. | Patent |
| 1998 | Transformer-free semiconductor switches for the energization of a pulsed PVD plasma
Reschke, J.; Goedicke, K.; Junghähnel, M.; Frach, P.; Mark, G. | Conference Paper |
| 1998 | Verfahren zum Beschichten von Duennfilmmagnetplatten
Goedicke, K.; Winkler, T.; Junghaehnel, M.; Lang, A.; Meyer, D.; Mueller, M.; Schneider, H.H.; Schneider, R.C. | Patent |
| 1997 | Verfahren zum Aufbringen von Kohlenstoffschichten durch reaktives Magnetron-Sputtern
Winkler, T.; Junghaehnel, M.; Goedicke, K.; Frach, P.; Mueller, M.; Haese, F.; Strecker, H.; Meyer, D.W. | Patent |