Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Vorrichtung zur ortsaufgelösten Detektion und Verwendung einer solchen Vorrichtung
Janes, Joachim
Patent
2018Analyseeinrichtung
Janes, Joachim
Patent
2018Bilderzeugungseinrichtung
Giese, Thorsten; Janes, Joachim
Patent
2018Omnidirektionale Beleuchtungsvorrichtung und Verfahren zum Abtasten eines Raumwinkelbereichs
Janes, Joachim
Patent
2018Projektionsvorrichtung und Verfahren zum Abtasten eines Raumwinkelbereichs mit einem Laserstrahl
Janes, Joachim
Patent
2016Piezoelektrischer Positionssensor für piezoelektrisch angetriebene resonante Mikrospiegel
Quenzer, Hans Joachim; Gu-Stoppel, Shanshan; Janes, Joachim; Heinrich, Felix
Patent
20152D MEMS scanning for LIDAR with sub-Nyquist sampling, electronics, and measurement procedure
Giese, T.; Janes, J.
Conference Paper
20152D MEMS scanning LIDAR with sub-Nyquist sampling, set-up and functionality
Janes, J.; Giese, T.
Conference Paper
2015Bildgebender Strahlungssensor
Hofmann, Ulrich; Weiß, Manfred; Janes, Joachim; Senger, Frank
Patent
2015Centimeter-scale MEMS scanning mirrors for high power laser application
Senger, Frank; Hofmann, Ulrich G.; Wantoch, T. von; Mallas, Christian; Janes, Joachim; Benecke, Wolfgang; Herwig, Patrick; Gawlitza, Peter; Ortega Delgado, Moises Alberto; Gruhne, Christoph; Hannweber, Jan; Wetzig, Andreas
Conference Paper
2015Mikrospiegelanordnung
Hofmann, Ulrich; Senger, Frank; Wantoch, Thomas; Mallas, Christian; Janes, Joachim
Patent
2015Piezoelectrically driven translatory optical MEMS Actuator with 7 mm apertures and large displacements
Quenzer, H.J.; Gu-Stoppel, S.; Stoppel, F.; Janes, J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Conference Paper
2015A study of integrated position sensors for PZT resonant micromirrors
Gu-Stoppel, S.; Quenzer, H.J.; Heinrich, F.; Janes, J.; Benecke, W.
Conference Paper
2014Analysis of capacitive sensing for 2D-MEMS scanner laser projection
Wantoch, T. von; Mallas, C.; Hofmann, U.; Janes, J.; Wagner, B.; Benecke, W.
Conference Paper
2014High frequency 1D piezoelectric resonant microscanners with large displacements
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Quenzer, H.J.; Eisermann, C.; Heinrich, F.; Benecke, W.
Journal Article, Conference Paper
2014Mikromechanische Resonatorandordnung
Hofmann, Ulrich; Janes, Joachim
Patent
2014Resonant biaxial 7-mm MEMS mirror for omnidirectional scanning
Hofmann, U.; Aikio, M.; Janes, J.; Senger, F.; Stenchly, V.; Hagge, J.; Quenzer, H.-J.; Weiss, M.; Wantoch, T. von; Mallas, C.; Wagner, B.; Benecke, W.
Journal Article
2014Studies on the dynamics of vacuum encapsulated 2D MEMS scanners by laser Doppler vibrometry
Janes, J.; Hofmann, U.
Conference Paper
2014Two-dimensional scanning using two single-axis low-voltage PZT resonant micromirrors
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Quenzer, H.J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Conference Paper
2014Vorrichtung mit einem schwingfähig aufgehängten optischen Element
Gu-Stoppel, Shanshan; Quenzer, Hans Joachim; Janes, Joachim
Patent
2014Wafer-level vacuum-packaged two-axis MEMS scanning mirror for pico-projector application
Hofmann, U.; Senger, F.; Janes, J.; Mallas, C.; Stenchly, V.; Wantoch, T. von; Quenzer, H.-J.; Weiss, M.
Conference Paper
2013Design, fabrication and characterization of low-voltage piezoelectric two-axis gimbal-less microscanners
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Quenzer, H.J.; Hofmann, U.; Kaden, D.; Wagner, B.; Benecke, W.
Conference Paper
2013Mehrachsiger piezoelektrischer Aktuator für optische Komponenten
Kampmann, M.; Stoppel, F.; Quenzer, H.-J.; Kaden, D.; Janes, J.; Wagner, B.
Conference Paper
2013New fabrication method of glass packages with inclined optical windows for micromirrors on wafer level
Stenchly, V.; Quenzer, H.-J.; Hofmann, U.; Janes, J.; Jensen, B.; Benecke, W.
Conference Paper
2013Piezoelectric resonant micromirror with high frequency and large deflection applying mechanical leverage amplification
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Kaden, D.; Quenzer, H.J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Conference Paper
2013Resonant biaxial 7-mm MEMSm mirror for omnidirectional scanning
Hoffmann, U.; Aikio, M.; Janes, J.; Senger, F.; Stenchly, V.; Weiss, M.; Quenzer, H.-J.; Wagner, B.; Benecke, W.
Conference Paper
2012Biaxial resonant 7mm-MEMS mirror for automotive LIDAR application
Hofmann, U.; Senger, F.; Soerensen, F.; Stenchly, V.; Jensen, B.; Janes, J.
Conference Paper
2012High-Q MEMS resonators for laser beam scanning displays
Hofmann, U.; Janes, J.; Quenzer, H.-J.
Journal Article
2012Mikrospiegelanordnung und Verfahren zur Herstellung einer Mikrospiegelanordnung
Hofmann, Ulrich; Quenzer, Hans Joachim; Janes, J.; Jensen, B.
Patent
2012Schnell lenkbare Mikroscanner-Spiegel
Janes, J.; Hofmann, U.
Journal Article
2011MEMS mirror for low cost laser scanners
Hofmann, U.; Janes, J.
Conference Paper
2011MEMS scanning laser projection based on high-Q vacuum packaged 2D-resonators
Hofmann, U.; Eisermann, C.; Quenzer, H.-J.; Janes, J.; Schroeder, C.; Schwarzelbach, O.; Jensen, B.; Ratzmann, L.; Giese, T.; Senger, F.; Hagge, J.; Weiss, M.; Wagner, B.; Benecke, W.
Conference Paper
2011A novel vacuum-packaged low-power scanning mirror with inclined 3D-shaped window
Hofmann, U.; Quenzer, H.J.; Eisermann, C.; Janes, J.; Schroeder, C.; Jensen, B.; Hagge, J.; Soerensen, F.; Senger, F.; Vick, D.; Schwarzelbach, O.; Ratzmann, L.; Giese, T.; Wagner, B.; Benecke, W.
Conference Paper
2009Ablenkeinrichtung fuer eine Projektionsvorrichtung, Projektionsvorrichtung zum Projizieren eines Bildes und Verfahren zum Ansteuern einer Ablenkeinrichtung fuer eine Projektionsvorrichtung
Hofmann, U.; Ratzmann, L.; Janes, J.; Weiss, M.; Mühlmann, S.
Patent
2009Waferlevel Vacuum Packaged Microscanners
Oldsen, M.; Hofmann, U.; Janes, J.; Quenzer, J.; Wagner, B.
Journal Article
2009Waferlevel-Vakuum gekapselte 2D-Mikrospiegel-Scanner für kompakte Laserprojektions-Displays im Automobil
Hofmann, U.; Baumann, S.; Oldsen, M.; Janes, J.; Wagner, B.
Conference Paper
2008A novel fabrication technology for anti-reflex wafer-level vacuum packaged microscanning mirrors
Oldsen, M.; Hofmann, U.; Quenzer, H.-J.; Janes, J.; Stolte, C.; Gruber, K.; Ites, M.; Sörensen, F.; Wagner, B.
Conference Paper
2008Wafer-level vacuum packaged resonant micro-scanning mirrors for compact laser projection displays
Hofmann, U.; Oldsen, M.; Quenzer, H.-J.; Janes, J.; Heller, M.; Weiss, M.; Fakas, G.; Ratzmann, L.; Marchetti, E.; D'Ascoli, F.; Melani, M.; Bacciarelli, L.; Volpi, E.; Battini, F.; Mostardini, L.; Sechi, F.; Marinis, M. de; Wagner, B.
Conference Paper
2006Verfahren und Projektor zur Bildprojektion
Hofmann, U.; Fakas, G.; Janes, J.; Blicharski, P.; Wagner, B.
Patent
2005Vorrichtung zum konfokalen optischen Abtasten eines Objekts
Janes, J.; Hofmann, U.
Patent
2003Verfahren zur Herstellung eines optischen MxN-Schalters
Janes, J.
Patent
2001Vorrichtung zur Oberflaechenbearbeitung wenigstens eines flaechig ausgebildeten Substrates
Janes, J.; Huth, C.; Pilz, W.
Patent
1999Mikrooptisches Bauelement
Janes, J.
Patent
1997Flux characteristics of reactive particles in submicron dry etching techniques
Janes, J.
Book Article
1997Influence of deposition and etching on high aspect ratio patterning
Hoffmann, P.; Pilz, W.; Janes, J.; Huth, C.; Börnig, K.; Peters, S.
Conference Paper
1996Energy- and angular distributions of argon neutrals and their influence on etching profiles
Börnig, K.; Janes, J.; Jünemann, B.
Journal Article
1995Angular characteristicts of argon ion fluxes at the rf-powered electrode of a parallel-plate reactor
Börnig, K.; Janes, J.
Journal Article
1994Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Ionenstrahlen mit grossflaechigem Strahlquerschnitt
Janes, J.
Patent
1994Verfahren zur Messung physikalischer Eigenschaften eines Teilchenstromes und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
Janes, J.
Patent
1993Effect of ion angular distribution on microloading in oxygen reactive ion etching of submicrometer polymer trenches
Janes, J.; Pilz, W.
Journal Article
1993Energy distributions of argon neutrals at the rf-powered electrode of a parallel-plate reactor
Janes, J.; Börnig, K.
Journal Article
1993Sub-mym HTSL-Strukturierung mit additiven und subtraktiven Methoden
Grändorff, K.; Gulde, P.; Janes, J.; Marschner, M.; Pilz, W.
Book Article
1992Analysis of large-area beam attacks on surfaces and testing of etching reactions
Bänzinger, U.; Hoffmann, P.; Neumann, G.; Scheer, H.-C.; Schneemann, B.; Köhler, U.; Huth, C.; Janes, J.
Journal Article
1992Energy-resolved angular distributions of O+ions at the radio-frequency-powered electrode in reactive ion etching
Huth, C.; Janes, J.
Journal Article
1992How to etch the optimal silicon trench - profile development and process discussion
Pilz, W.; Grandorff, K.; Pelka, J.; Janes, J.
Conference Paper
1992Patterning of thin HTSC films - evaluation of lithography and dry etching
Pilz, W.; Grändorff, K.; Stoll, H.-P.; Janes, J.
Conference Paper
1991Oxygen reactive ion etching of polymers-profile evolution and process mechanisms
Janes, J.; Pelka, J.; Pilz, W.
Conference Paper
1991RF-excited molecular jet plasma for reactive ion etching
Janes, J.; Lutz, N.
Journal Article
1990Analysis of a CF4/O2 plasma using emission, laser-induced fluorescence, mass, and Langmuir spectroscopy
Buchmann, L.-M.; Heinrich, F.; Hoffmann, P.; Janes, J.
Journal Article
1990Fluessigkeitskuehlvorrichtung
Janes, J.
Patent
1990Plasmaaetzvorrichtung und Verfahren zum Betrieb
Janes, J.
Patent
1989Developing an undispersed VUV beamline for large area surface processing
Janes, J.; Lutz, N.
Journal Article
1989Strahlfuehrungssystem
Janes, J.; Lutz, N.
Patent