Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2008Aerostatisch gefuehrtes Tischsystem fuer die Vakuumanwendung
Schubert, G.; Jackel, C.; Kirschstein, U.-C.; Böhm, M.; Schenk, C.; Risse, S.; Harnisch, G.; Peschel, T.; Bauer, R.
Patent
2008Aerostatische Lageranordnung mit zugeordneter elektrostatischer Vorspanneinheit, insbesondere fuer die Vakuumanwendung
Schubert, G.; Jackel, C.; Kirschstein, U.-C.; Böhme, M.; Schenk, C.; Risse, S.; Harnisch, G.; Peschel, T.; Bauer, R.
Patent
2008Mittels aerostatischer Lagerelemente gefuehrter Tisch fuer Vakuumanwendung
Schubert, G.; Jackel, C.; Kirschstein, U.; Boehm, M.; Schenk, C.; Risse, S.; Harnisch, G.; Peschel, T.; Bauer, R.
Patent