Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2016Quantification and reduction of deformations in multilayer soft-NIL stamps
Förthner, Michael; Papenheim, Marc; Rumler, Maximilian; Stumpf, Florian; Baier, Leander; Rommel, Mathias; Schlachter, Florian; Hornung, Michael; Scheer, Hella-Christin; Frey, Lothar
Poster
2016Quantification and reduction of deformations in multilayer soft-NIL stamps
Förthner, Michael; Papenheim, Marc; Rumler, Maximilian; Stumpf, Florian; Baier, Leander; Rommel, Mathias; Schlachter, Florian; Hornung, Michael; Scheer, Hella-Christin; Frey, Lothar
Poster
2012Advanced mask aligner lithography (AMALITH)
Völkel, R.; Vogler, U.; Bramati, A.; Weichelt, T.; Stürzebecher, L.; Zeitner, U.D.; Motzek, K.; Erdmann, A.; Hornung, M.; Zoberbier, R.
Conference Paper
2012Mask aligner lithography simulation - From lithography simulation to process validation
Motzek, K.; Partel, S.; Bramati, A.; Hofmann, U.; Unal, N.; Hennemeyer, M.; Hornung, M.; Heindl, A.; Ruhland, M.; Erdmann, A.; Hudek, P.
Journal Article
2012Novel organic polymer for UV-enhanced substrate conformal imprint lithography
Fader, R.; Schmitt, H.; Rommel, M.; Bauer, A.J.; Frey, L.; Ji, R.; Hornung, M.; Brehm, M.; Vogler, M.
Journal Article, Conference Paper
2011Computational algorithms for optimizing mask layouts in proximity printing
Motzek, K.; Vogler, U.; Hennemeyer, M.; Hornung, M.; Voelkel, R.; Erdmann, A.; Meliorisz, B.
Journal Article
2011Mask aligner process enhancement by spatial filtering
Vogler, U.; Bich, A.; Voelkel, R.; Stürzebecher, L.; Zeitner, U.D.; Hornung, M.
Conference Paper
2011Modellierung und Simulation bei Mask Aligner Lithographie (Source-Mask Optimization)
Vogler, U.; Bramati, A.; Völkel, R.; Hornung, M.; Zoberbier, R.; Motzek, M.; Erdmann, A.; Stürzebecher, L.; Zeitner, U.
Journal Article, Conference Paper
2011Novel polymers for UV-enhanced substrate conformal imprint lithography
Fader, R.; Schmitt, H.; Rommel, M.; Bauer, A.J.; Frey, L.; Ji, R.; Hornung, M.; Brehm, M.; Vogler, M.
Poster
2011Simulation tools for advanced mask aligner lithography
Bramati, Arianna; Vogler, Uwe; Meliorisz, Balint; Motzek, Kristian; Hornung, Michael; Voelkel, Reinhard
Conference Paper
2011UV-enhanced substrate conformal imprint lithography using an epoxy based polymer
Fader, R.; Schmitt, H.; Rommel, M.; Bauer, A.J.; Frey, L.; Ji, R.; Hornung, M.; Brehm, M.; Kraft, A.
Poster
2010Advanced mask aligner lithography: New illumination system
Voelkel, R.; Vogler, U.; Bich, A.; Pernet, P.; Weible, K.J.; Hornung, M.; Zoberbier, R.; Cullmann, E.; Stuerzebecher, L.; Harzendorf, T.; Zeitner, U.D.
Journal Article
2010Direct imprinting, post processing, and characterization of functional UV-curing materials
Schmitt, H.; Kett, F.; Fader, R.; Rommel, M.; Bauer, A.J.; Hornung, M.; Frey, L.
Poster
2010Full wafer microlens replication by UV imprint lithography
Schmitt, H.; Rommel, M.; Bauer, A.J.; Frey, L.; Bich, A.; Eisner, M.; Völkel, R.; Hornung, M.
Conference Paper, Journal Article
2010Optimization of illumination pupils and mask structures for proximity printing
Motzek, K.; Bich, A.; Erdmann, A.; Hornung, M.; Hennemeyer, M.; Meliorisz, B.; Hofmann, U.; Ünal, N.; Völkel, R.; Partel, S.; Hudek, P.
Conference Paper, Journal Article
2009Full wafer microlens replication by UV imprint lithography
Schmitt, H.; Rommel, M.; Bauer, A.J.; Frey, L.; Bich, A.; Eisner, M.; Voelkel, R.; Hornung, M.
Poster
2008Technology trends of microlens imprint lithography and wafer level cameras (WLC)
Völkel, R.; Duparré, J.; Wippermann, F.; Dannberg, P.; Bräuer, A.; Zoberbier, R.; Gabriel, M.; Hornung, M.; Hansen, S.; Süss, R.
Conference Paper
2004Grundlagen zu Prozessmanagement und Prozessmodellen
Hornung, M.
Conference Paper
2004ISO 9000:2000 sowie Kopplung von Strategie und QM-System
Hornung, M.
Conference Paper
2004Qualitäts- und Prozesssicherung in Lackierbetrieben: Qualitäts- und Umweltmanagementsysteme
Hornung, M.
Book Article
2003Grundlagen zu Prozessmanagement und Prozessmodellen
Hornung, M.
Conference Paper
2003Grundlagen zu Prozessmanagement und Prozessmodellen
Hornung, M.
Conference Paper
2003ISO 9000:2000 sowie Kopplung von Strategie und QM-System
Hornung, M.
Conference Paper
2003Qualitäts- und Prozesssicherung in Lackierbetrieben: Qualitäts- und Umweltmanagementsysteme
Hornung, M.; Mai, C.
Book Article
2003Qualitätsmanagementsysteme
Mai, C.; Hornung, M.
Book Article
2002Grundlagen des umfassenden Prozessmanagements
Hornung, M.
Conference Paper
2002Grundlagen des umfassenden Prozessmanagements
Hornung, M.
Conference Paper
2002Grundlagen des umfassenden Prozessmanagements
Hornung, M.
Conference Paper
2002Grundlagen und Anforderungen der ISO 9000:2000
Hornung, M.
Conference Paper
2002Grundlagen und Anforderungen der ISO 9000:2000
Hornung, M.
Conference Paper
2002Grundlagen und Anforderungen der ISO 9000:2000
Hornung, M.
Conference Paper
2002Qualitätsmanagement in dezentral organisierten Unternehmen
Hornung, M.
Conference Paper
2002Qualitätssicherung in Lackierbetrieben: Qualitäts- und Umweltmanagementsysteme
Hornung, M.; Mai, C.
Book Article
2002Weiterentwicklung des QM-Systems zu einem umfassenden Managementsystem
Kramer, M.; Hornung, M.
Conference Paper
2001Entwicklungslinien im Qualitätsmanagement - Teil 1
Hornung, M.
Conference Paper
2001Qualitätssicherung in Lackierbetrieben: Qualitäts- und Umweltmanagementsysteme
Hornung, M.; Mai, C.
Book Article
2000Qualitätssicherung in Lackierbetrieben: Qualitäts- und Umweltmanagementsysteme
Hornung, M.; Mai, C.
Book Article
1999Mit Prozeßaudits nach VDA 6.3 die Qualitätsfähigkeit von Prozessen optimieren
Hornung, M.
Conference Paper
1999Qualitätsmanagement
Hornung, M.
Conference Paper
1999Qualitätssicherung in Lackierbetrieben: Qualitäts- und Umweltmanagementsysteme
Hornung, M.; Mai, C.
Book Article
1998Prozeßorientiertes Qualitätsmanagement für kleine und mittlere Unternehmen der Investitionsgüterindustrie
: Voss, H.-J.; Hüller, V.; Hornung, M.; Wißler, F.E.
Book
1998Qualitätsmanagement
Hornung, M.
Conference Paper
1998Qualitätssicherung in Lackierbetrieben: Qualitäts- und Umweltmanagementsysteme
Hornung, M.; Mai, C.
Book Article
1997QM-Systeme prozeßorientiert dokumentieren
Ambronn, P.; Hornung, M.; Wißler, F.
Journal Article
1997QS-9000 TE mit EDV-Unterstützung umsetzen
Hornung, M.; Kobert, S.; Niestadtkötter, J.
Journal Article
1996Prozesse mitarbeitergerecht dokumentieren
Hornung, M.; Staiger, T.; Wißler, F.
Journal Article
1995Prozeßorientierte Analyse von QM-Systemen
Hornung, M.; Hummel, R.; Mai, C.; Robeck, A.
Journal Article