Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2008Atmospheric pressure plasmas for crystalline silicon photovoltaics
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Möller, R.
Conference Paper
2008Plasma enhanced chemical etching at atmospheric pressure for crystalline silicon wafer processing and process control by in-line FTIR gas spectroscopy
Linaschke, D.; Leistner, M.; Mäder, G.; Grählert, W.; Dani, I.; Kaskel, S.; Lopez, E.; Hopfe, V.; Kirschmann, M.; Frenck, J.
Conference Paper
2008Plasma enhanced CVD and plasma chemical etching at atmospheric pressure for continuous processing of crystallien silicon solar wafers
Lopez, E.; Dresler, B.; Mäder, G.; Dani, I.; Hopfe, V.; Kaskel, S.; Heintze, M.; Möller, R.; Wanka, H.; Kirschmann, M.; Frenck, J.; Poruba, A.; Barinka, R.; Dahl, R.; Nussbaumer, H.
Conference Paper
2008Silicon nitride films deposited by atmospheric pressure microwave PECVD
Dresler, B.; Roch, J.; Leupolt, B.; Dani, I.; Hopfe, V.; Heintze, M.; Möller, R.
Conference Paper
2008Verfahren und Vorrichtung zum Zuenden eines Lichtbogens
Grabau, P.; Roch, J.; Hopfe, V.; Dani, I.
Patent
2008Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Kohlenstoff-Nanoroehren oder Fullerenen
Maercz, M.; Leistner, M.; Hopfe, V.; Graehlert, W.; Dani, I.; Schultrich, B.
Patent
2007Atmospheric-pressure PECVD coating and plasma chemical etching for continuous processing
Hopfe, V.; Sheel, D.W.
Journal Article
2007Atmospheric-pressure plasmas for wide-area thin-film deposition and etching
Hopfe, V.; Sheel, D.W.
Journal Article
2007Dauerhaft schön - Kratzschutz durch Atmosphärendruck-Plasmaverfahren
Dani, I.; Kotte, L.; Tschoecke, S.; Linaschke, D.; Rogler, D.; Hopfe, V.
Journal Article
2007In-line plasma etching at atmospheric pressue for edge isolation in crystalline Si solar cells
Heintze, M.; Hauser, A.; Möller, R.; Wanka, H.; Lopez, E.; Dani, I.; Hopfe, V.; Müller, J.W.; Huwe, A.
Conference Paper
2007Mikrowellen-PECVD für kontinuierliche Großflächenbeschichtung bei Atmosphärendruck
Dani, I.; Tschöcke, S.; Kotte, L.; Mäder, G.; Dresler, B.; Hopfe, V.
Journal Article
2007New developments in plasma enhanced chemical etching at atmospheric pressure for crystalline silicon wafer processing
Lopez, E.; Beese, H.; Mäder, G.; Dani, I.; Hopfe, V.; Heintze, M.; Moeller, R.; Wanka, H.; Kirschmann, M.; Frenck, J.A. et al.
Conference Paper
2007PECVD and plasma etching at atmospheric pressure by means of a linearly-extended DC arc plasma source
Dani, I.; Hopfe, V.; Rogler, D.; Lopez, E.; Mäder, G.
Journal Article
2007Photocatalytic active titania - Deposition with atmospheric pressure plasma technology
Dani, I.; Kotte, L.; Abendroth, T.; Hopfe, V.
Journal Article
2007Verfahren zur Entfernung einer dotierten Oberflaechenschicht an Rueckseiten von kristallinen Silizium-Solarwafern
Hopfe, V.; Dani, I.; Rosina, M.; Heintze, M.; Moeller, R.; Wanka, H.; Lopez, E.
Patent
2007Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Permeationsrate mindestens eines Permeaten, durch ein eine Diffusionssperre bildendes Element
Beese, H.; Graehlert, W.; Hopfe, V.
Patent
2007Wirtschaftlicher Solarstrom - Atmosphärendruck-Plasmaverfahren in der Photovoltaik
Dani, I.; Dresler, B.; Lopez, E.; Hopfe, V.
Journal Article
2006Atmosphärendruck-PECVD-Prozesse zur Abscheidung kohlenstoffbasierter Schichten
Dani, I.; Linaschke, D.; Hopfe, V.
Conference Paper
2006Atmospheric pressure PECVD and atmospheric plasma chemical etching for continuous processing of crystalline silicon solar wafers
Hopfe, V.; Dani, I.; Lopez, E.; Rosina, M.; Mäder, G.; Möller, R.; Wanka, H.; Heintze, M.
Conference Paper
2006In-line Monitoring von Feuchtespuren und weiteren kritischen Verunreinigungen in Bulk- und Korrosivgasen der Mikroelektronik
Beese, H.; Grählert, W.; Hopfe, V.; Petzold, F.; Kaspersen, P.; Bohman, A.; Mackrodt, P.
Conference Paper
2006ISPROM, ein in-situ-Multigasanalysator für CVD- und Ätzprozesse
Grählert, W.; Dani, I.; Mäder, G.; Throl, O.; Hopfe, V.; Pietsch, K.; Wünsche, T.; Dreyer, T.
Conference Paper
2006Mikrowellenplasmaquelle
Maeder, G.; Rogler, D.; Hopfe, V.; Krause, S.; Spitzl, R.
Patent
2006Plasma enhanced chemical etching at atmospheric pressure for silicon wafer processing
Lopez, E.; Dani, I.; Hopfe, V.; Wanka, H.; Heintze, M.; Möller, R.; Hauser, A.
Conference Paper
2006Plasma etching at atmospheric pressure for rear emitter removal in crystalline Si solar cells
Lopez, E.; Dani, I.; Hopfe, V.; Heintze, M.; Hauser, A.; Möller, R.; Wanka, H.
Conference Paper
2006Plasmachemische Gasphasenabscheidung und Plasmaätzen bei Atmosphärendruck mittels einer linear ausgedehnten DC-Bogenplasmaquelle
Dani, I.; Hopfe, V.; Rogler, D.; Lopez, E.; Mäder, G.
Journal Article
2006Transparente Kratzschutzschichten mittels Plasma-CVD bei Atmosphärendruck
Dani, I.; Hopfe, V.; Kotte, L.; Linaschke, D.; Rogler, D.; Tschöcke, S.
Journal Article
2006Verfahren zum selektiven plasmachemischen Trockenaetzen von auf Oberflaechen von Silicium-Wafern ausgebildetem Phosphorsilikatglas
Hopfe, V.; Dani, I.
Patent
2006Vorrichtung und Verfahren zur Ausbildung duenner Schichten auf Substratoberflaechen
Dresler, B.; Hopfe, V.; Dani, I.
Patent
2006Vorrichtung und Verfahren zur Ausbildung duenner Siliciumnitridschichten auf Oberflaechen von kristallinen Silicium-Solarwafern
Dresler, B.; Hopfe, V.; Dani, I.; Rosina, M.
Patent
2005Linear extended ArcJet-CVD - a new PECVD approach for continuous wide area coating under atmospheric pressure
Hopfe, V.; Rogler, D.; Mäder, G.; Dani, I.; Landes, K.; Theophile, E.; Dzulko, M.; Rohrer, C.; Reichhold, C.
Journal Article
2005Modul und Verfahren fuer die Modifizierung von Substratoberflaechen bei Atmosphaerenbedingungen
Maeder, G.; Rogler, D.; Hopfe, V.
Patent
2005Remote microwave PECVD for continuous, wide-area coating under atmospheric pressure
Hopfe, V.; Spitzl, R.; Dani, I.; Maeder, G.; Roch, L.; Rogler, D.; Leupolt, B.; Schöneich, B.
Journal Article
2005Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Gasen oder Gasgemischen mittels Laserdiodenspektroskopie
Maeder, G.; Graehlert, W.; Hopfe, V.; Beese, H.; Hofmueller, E.
Patent
2004Development of a novel DC plasma source for coating and surface modification under atmospheric pressure
Theophile, E.; Kim, H.-M.; Dzulko, M.; Landes, K.D.; Rogler, D.; Maeder, G.; Hopfe, V.
Conference Paper
2004Quantitative-analysis of the in-situ fourier-transform infrared-absorption And emission-spectrum of gas-phase SiO (delta-v=1 and 2) produced in Si-N-O fiber growth
Martin, P.A.; Daum, R.; Beil, A.; Vogt, U.; Vital, A.; Graehlert, W.; Leparoux, M.; Hopfe, V.
Journal Article
2004Verfahren und Vorrichtung zur grossflaechigen Beschichtung von Substraten bei Atmosphaerendruckbedingungen
Hopfe, V.; Maeder, G.; Rogler, D.; Schreuders, C.
Patent
2003In-situ monitoring for CVD processes
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Spee, C.I.M.A.; Tell, R.; Martin, P.; Beil, A.; Pemble, M.; Weiss, R.; Vogt, U.; Grählert, W.
Journal Article
2002In-situ monitoring for CVD processes
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Spee, C.I.M.A.; Tell, R.; Martin, P.; Beil, A.; Pemple, M.; Weiss, R.; Vogt, U.; Grählert, W.
Conference Paper
2002Laser CVD - Status und industrielles Potential für Faserbeschichtungen
Hopfe, V.
Journal Article
2002Prozessüberwachung industrieller CVD-Beschichtungsanlagen mittels NIR-DLS- und FTIR-Sensorik
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Grählert, W.; Raisbeck, D.; Rivero, J.M.; Throl, O.
Conference Paper
2002Simulationsrechnungen zur FTIR-reflexionsspektroskopischen Charakterisierung von Schicht- und Fasersystemen
Grählert, Wulf
: Hopfe, Volkmar; Neuschütz, Dieter
Dissertation
2001Gesicherte Interpretationen der FTIR-Reflexionsspektren SiC-CVD-Schichten durch Spektrensimulation
Grählert, W.; Hopfe, V.
Journal Article
2001Laser-gestützte physikalische und chemische Dampfphasenabscheidung
Schultrich, B.; Scheibe, H.J.; Hopfe, V.
Journal Article
2001NIR Diode Laser Based Process Control for Industrial CVD Reactors
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Raisbeck, D.; Rivero, J.M.; Graehlert, W.; Throl, O.; Mol, A.M.B. van; Spee, C.I.M.A.
Conference Paper
2001NIR diode laser based process control for industrial CVD reactors
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Raisbeck, D.; Rivero, J.M.; Graehlert, W.; Throl, O.; Mol, A.M.B. van; Spee, C.I.M.A.
Journal Article
2001NIR laser diode and FTIR based process control for industrial CVD reactors
Hopfe, V.; Shee, D.W.; Graehlert, W.; Throl, O.
Journal Article
2001Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen laserinduzierten Beschichten von Endlosfaserbuendeln
Hopfe, V.; Tehel, A.; Leonhardt, G.
Patent
2000In-situ FTIR spectroscopic monitoring of a CVD controlled Si-N-O fibre growth process
Vogt, U.; Vital, A.; Graehlert, W.; Leparoux, M.; Ewing, H.; Beil, A.; Daum, R.; Hopfe, V.
Journal Article
2000Verfahren zur laserinduzierten Beschichtung von Fasern
Hopfe, V.; Tehel, A.; Leonhardt, G.
Patent
1999Continuous coating of ceramic fibres by industrial-scale laser driven CVD: fibre modification and structure of interfaces
Hopfe, V.; Schönfeld, K.; Dresler, B.; Leparoux, M.; Leupolt, B.; Grählert, W.
Conference Paper
1999Entwicklung wirtschaftlicher Verfahren zur CMC-Herstellung. Beschichtung keramischer Faserbündel mittels Laser-CVD
Hopfe, V.; Jäckel, R.; Schönfeld, K.; Dresler, B.; Throl, O.
Conference Paper
1999FTIR based process control for industrial reactors
Hopfe, V.; Grählert, W.; Throl, O.
Journal Article
1999Laser-CVD-Abscheidung von keramischen Schichten auf Kohlenstoff-Fasern
Hopfe, V.; Dresler, B.; Schönfeld, K.; Jäckel, R.; Leupolt, B.
Conference Paper
1999Optical modelling vs. FTIR reflectance microscopy. Characterization of laser treated ceramic fibres
Grählert, W.; Leupolt, B.; Hopfe, V.
Journal Article
1998FTIR monitoring of industrial scale CVD processes
Hopfe, V.; Mosebach, H.; Meyer, M.; Sheel, D.W.; Grählert, W.; Throl, O.; Dresler, B.
Conference Paper
1998FTIR reflectance spectroscopy of SICxNyOz(H) ceramic coatings. Structure interpretation by optical modelling
Grählert, W.; Hopfe, V.
Conference Paper
1998A method for checking homogeneity of subsurface regions by variable angle ATR
Hopfe, I.; Eichhorn, K.; Grählert, W.; Hopfe, V.
Conference Paper
1997Continuous coating of ceramic fibres by industrial-scale laser driven CVD. Process characterization
Hopfe, V.; Dresler, B.; Schönfeld, K.; Jäckel, R.; Throl, O.
Conference Paper