Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Development of a scalable nanotube-microbolometer technology
Michel, Marvin D.; Weyers, Sascha; Weiler, Dirk; Geruschke, Thomas; Blaeser, Sebastian; Zakizade, Elahe; Hochschulz, Frank; Vogt, Holger
Conference Paper
2020Scalable nanotube-microbolometer technology with pixel pitches from 12 down to 6 µm
Michel, Marvin D.; Weyers, Sascha; Weiler, Dirk; Blaeser, Sebastian; Zakizade, Elahe; Hochschulz, Frank; Vogt, Holger
Conference Paper
2020Verfahren und Vorrichtung zur Entfernungsmessung
Hochschulz, Frank; Weyers, Sascha
Patent
2018Digital uncooled IRFPAs based on microbolometers with 17 μm and 12μm pixel pitch
Weiler, Dirk; Hochschulz, Frank; Busch, Claudia; Stein, Matthias; Michel, Marvin D.; Kuhl, Andreas; Lerch, Renee G.; Petermann, Martin; Geruschke, Thomas; Blaeser, Sebastian; Weyers, Sascha; Vogt, Holger
Conference Paper
2018High-performance uncooled digital 17 μm QVGA-IRFPA-using microbolometer based on amorphous silicon with massively parallel Sigma-Delta-ADC readout
Weiler, Dirk; Hochschulz, Frank; Busch, Claudia; Stein, Matthias; Michel, Marvin D.; Würfel, Daniel; Lerch, Renee G.; Petermann, Martin; Geruschke, Thomas; Blaeser, Sebastian; Weyers, Sascha; Vogt, Holger
Conference Paper
2018Strahlungsdektor und Herstellung
Hochschulz, Frank; Muckensturm, Kai-Marcel; Weiler, Dirk
Patent
2017Ungekühlte Mikrobolometer-Arrays mit einer Pixelgröße von 12 µm basierend auf einer neuartigen thermisch isolierenden Struktur
Muckensturm, Kai-Marcel; Weiler, Dirk; Hochschulz, Frank; Busch, Claudia; Geruschke, Thomas; Wall, Simone; Heß, Jennifer; Lerch, Renee G.; Würfel, Daniel; Vogt, Holger
Journal Article
2016Measurement results of a 12 μm pixel size microbolometer array based on a novel thermally isolating structure using a 17 μm ROIC
Muckensturm, Kai-Marcel; Weiler, Dirk; Hochschulz, Frank; Busch, Claudia; Geruschke, Thomas; Wall, Simone; Heß, Jennifer; Würfel, Daniel; Lerch, Renee; Vogt, Holger
Conference Paper
2016Strahlungsdetektor, Array von Strahlungsdetektoren und Verfahren zur Herstellung eines Strahlungsdetektors
Weiler, Dirk; Muckensturm, Kai-Marcel; Hochschulz, Frank
Patent
2016Ungekühlte Mikrobolometer-Arrays mit einer Picelgröße von 12 μm basierend auf einer neuartigen thermischen isolierenden Struktur
Muckensturm, Kai-Marcel; Weiler, Dirk; Hochschulz, Frank; Busch, Claudia; Geruschke, Thomas; Wall, Simone; Heß, Jennifer; Lerch, Renee; Würfel, Daniel; Vogt, Holger
Conference Paper
2014Uncooled digital IRFPA-family with 17µm pixel-pitch based on amorphous silicon with massively parallel Sigma-Delta-ADC readout
Weiler, Dirk; Hochschulz, Frank; Würfel, Daniel; Lerch, Renee G.; Geruschke, Thomas; Wall, Simone; Heß, Jennifer; Wang, Qiang; Vogt, Holger
Conference Paper
2013Far infrared digital IRFPA baed on uncooled microbolometer for automotive and military applications
Weiler, Dirk; Ruß, Marco; Würfel, Daniel; Lerch, Renee G.; Hochschulz, Frank; Wang, Qiang; Geruschke, Thomas; Heß, Jennifer; Vogt, Holger
Conference Paper
2012CMOS-Back-End-of-Line-Prozesse für optische Bauelemente
Hochschulz, Frank
: Vogt, Holger (Referent); Tegude, Franz-Josef (Koreferent)
Dissertation
2012Quantum efficiency determination of a novel CMOS design for fast imaging applications in the extreme ultraviolet
Herbert, Stefan; Banyay, Matus; Maryasov, Alexey; Hochschulz, Frank; Paschen, Uwe; Vogt, Holger; Juschkin, Larissa
Journal Article
2012Radiation-hard CMOS image sensor process
Fink, Johannes; Hochschulz, Frank
Book Article
2012Reducing the impact of process variations on the sensitivity of CMOS photodiodes
Hochschulz, Frank; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
Book Article
2011Challenges of high-speed EUV mask blank inspection
Herbert, S.; Hochschulz, Frank; Maryasov, A.; Danylyuk, S.
Conference Paper
2011CMOS photodiodes for narrow linewidth applications
Hochschulz, Frank; Dreiner, Stefan; Vogt, Holger; Paschen, Uwe
Conference Paper