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| 2006 | Abscheidung, Charakterisierung und Anwendung von Plasma-Polymerschichten auf HMDSO-Basis
Jacoby, B.; Bock, W.; Haupt, M.; Hilgers, H.; Kopnarski, M.; Molter, J.; Oehr, C.; Rühle, T.; Wahl, M. | Journal Article |
| 2006 | Fluorocarbon nano coatings for specific surface functionalization
Haupt, M.; Barz, J.; Vohrer, U.; Hilgers, H.; Oehr, C. | Journal Article |
| 2005 | Fluor-Kohlenstoff-Nanoschichten zur gezielten Oberflächenfunktionalisierung
Haupt, M.; Barz, J.; Vohrer, U.; Hilgers, H.; Oehr, C. | Journal Article |
| 2005 | ToF-SIMS characterisation of ultra-thin fluorinated carbon plasma polymer films
Gradowski, M. von; Jacoby, B.; Hilgers, H.; Barz, J.; Wahl, M.; Kopnarski, M. | Conference Paper, Journal Article |
| 2005 | Ultrathin carbon-fluorine film processing
Barz, J.; Haupt, M.; Vohrer, U.; Hilgers, H.; Oehr, C. | Conference Paper, Journal Article |
| 2005 | Ultrathin carbon-fluorine films
Barz, J.; Haupt, M.; Hilgers, H.; Oehr, C. | Conference Paper |
| 2004 | Industrial precision deposition for microelectronics and next generation hard disk
Berthold, J.; Hentsch, W.; Hilgers, H.; Schülke, T.; Siemroth, P.; Seifried, S.; Wenzel, C. | Conference Paper |
| 2004 | A new generation of filtered arc sources for ultrathin top coats on magnetic hard disks
Siemroth, P.; Berthold, J.; Petereit, B.; Schneider, H.H.; Hilgers, H. | Conference Paper, Journal Article |
| 2004 | Ultra-thin carbon layer for high density magnetic storage devices
Casiraghi, C.; Ferrari, A.C.; Robertson, J.; Ohr, R.; Gradowski, M. von; Schneider, D.; Hilgers, H. | Conference Paper, Journal Article |
| 2003 | Analytical characterization of thin carbon films
Ohr, R.; Schug, C.; Wahl, M.; Wienss, A.; Hilgers, H.; Mahrholz, J.; Willich, P.; Jung, T. | Journal Article |
| 2003 | Gefilterte Bogenbeschichtung - alte Probleme und neue Lösungen
Zimmer, O.; Siemroth, P.; Berthold, J.; Hilgers, H.; Hentsch, W. | Journal Article |
| 2003 | High current filtered arc deposition for ultra thin carbon overcoats on magnetic hard disks and read-write heads
Petereit, B.; Siemroth, P.; Schneider, H.-H.; Hilgers, H. | Journal Article |
| 2003 | Hochstrom-Filterbogen: Eine neue Technik zur Abscheidung von Kohlenstoffschutzschichten in der Magnetspeichertechnologie
Petereit, B.; Schneider, H.H.; Siemroth, P.; Hilgers, H. | Journal Article |
| 2001 | Superharter Kohlenstoff abgeschieden mit gepulstem Hochstrombogen als Nanoschutzschicht für Magnetspeicherplatten
Neuhäuser, M.; Hilgers, H.; Witke, T.; Siemroth, P. | Journal Article |
| 1999 | Magnetische Datenspeicherung
Leson, A.; Hilgers, H. | Journal Article |