Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2002Phi-scatterometry for integrated linewidth and process control in DRAM manufacturing
Hettwer, A.; Benesch, N.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Journal Article
2000Phi-scatterometry for on-line process control
Benesch, N.; Hettwer, A.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Broermann, O.; Marx, E.; Tegeder, V.
Conference Paper