Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1984Stress compensated Si-membranes for x-ray masks
Csepregi, L.; Hersener, J.; Herzog, H.-J.
Conference Paper
1984X-ray investigations of boron- and germanium doped silicon epitaxial layers
Herzog, H.-J.; Csepregi, L.; Seidel, H.
Journal Article