Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1989Contamination measurement and analysis for ultra clean manufacturing devices
Herz, R.; Kahlden, T. von; Klumpp, B.; Schmutz, W.
Conference Paper
1989Reinigung, Montage und Prüfung im Reinraumtunnel. Integrales Reinheitskonzept zur Herstellung hochreiner Gasversorgungskomponenten
Hase, M.; Herz, R.; Klumpp, B.; Siebald, H.J.
Journal Article
1989Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit. Prüfzentrum für Halbleiterfertigungsgeräte
Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.
Journal Article
1989Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten
Herz, R.
Dissertation
1988Evaluation of semiconductor manufacturing equipment with respect to particle generation
Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Conference Paper
1988Investigation of particle generation in liquid supply systems
Warnecke, H.-J.; Herz, R.
Journal Article
1988Messung der Partikelkontamination in fluessigen Prozessmedien fuer die Halbleiterfertigung
Warnecke, H.-J.; Ernst, C.; Herz, R.
Journal Article
1987Defekt-Detektion auf unstrukturierten Wafern in der Halbleiterfertigung. Tl.1
Herz, R.; Kahlden, T. von; Mack, A.; Schmutz, W.
Journal Article
1987Defekt-Detektion auf unstrukturierten Wafern. Tl.2
Herz, R.; Kahlden, T. von; Mack, A.; Schmutz, W.
Journal Article
1987Defekt-Detektion auf unstrukturierten Wafern. Tl.3
Herz, R.; Kahlden, T. von; Mack, A.; Schmutz, W.
Journal Article
1987Halbleiterfertigung in Japan
Herz, R.; Sauter, K.-D.
Journal Article
1987Materialtransportsysteme fuer die Halbleiterfertigungstechnik
Herz, R.; Sauter, K.-D.
Journal Article
1987Studie über den Stand der Technik und zukünftige Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren
Aderhold, W.; Frühauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Study
1986Studie ueber den Stand der Technik und zukuenftige Anforderungen an Fertigungseinrichtunen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Beruecksichtigungen verschiedener Herstellungsverfahren
Aderhold, W.; Fruehauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Study
1981Eigenspannungsmessung an Stahl der Guete 22 NiMoCr 3 7 mit magnetischen und magnetoelastischen Pruefverfahren
Theiner, W.; Altpeter, I.; Becker, R.; Herz, R.; Repplinger, W.
Conference Paper