Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2014Optical characterization of patterned thin films
Rosu, D.; Petrik, P.; Rattmann, G.; Schellenberger, M.; Beck, U.; Hertwig, A.
Conference Paper, Journal Article
2011Comparison of optical and tactile layer thickness measurements of polymers and metals on silicon or SiO2
Brand, U.; Beckert, E.; Beutler, A.; Dai, G.; Stelzer, C.; Hertwig, A.; Klapetek, P.; Koglin, J.; Thelen, R.; Tutsch, R.
Journal Article