Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2004Realization and metrological characterization of thickness standards below 100 nm
Thomsen-Schmidt, P.; Hasche, K.; Ulm, G.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ade, G.; Stümpel, J.; Busch, I.; Schädlich, S.; Schindler, A.; Frank, W.; Hirsch, D.; Procop, M.; Beck, U.
Journal Article
2003Metrological characterization of nanometer film thickness standards for XRR and ellipsometry applications
Hasche, K.; Thomsen-Schmidt, P.; Krumrey, M.; Ade, G.; Ulm, G.; Stümpel, J.; Schädlich, S.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper
2002About the calibration of thickness standards on the nanometre scale
Hasche, K.; Ulm, G.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ade, G.; Stümpel, J.; Busch, I.; Thomsen-Schmidt, P.; Schädlich, S.; Schindler, A.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper
2002Ein Beitrag zu kalibrierten Nanometerschichten für unterschiedliche Anwendungsbereiche
Hasche, K.; Herrmann, K.; Thomsen-Schmidt, P.; Krumrey, M.; Ulm, G.; Ade, G.; Pohlenz, F.; Stümpel, J.; Busch, I.; Schädlich, S.; Frank, W.; Hirsch, D.; Schindler, A.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper
2002Electron probe microanalysis (EPMA) measurement of thin-film thickness in the nanometre range
Procop, M.; Radtke, M.; Krumrey, M.; Hasche, K.; Schädlich, S.; Frank, W.
Journal Article
2002Film thickness standards on the nanometer scale
Hasche, K.; Ulm, G.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ade, G.; Stümpel, J.; Busch, I.; Thomsen-Schmidt, P.; Schädlich, S.; Schindler, A.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper
2001Calibrated reference standards for films in the nanometer range
Hasche, K.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ulm, G.; Schädlich, S.; Frank, W.; Procop, M.
Conference Paper
2001Thin layer measurements need reference standards
Hasche, K.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ulm, G.; Ade, G.; Thomsen-Schmidt, P.; Schädlich, S.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper