| | |
|---|
| 2019 | Development of handling- and alignment tools for flexible substrates
Mohaupt, M.; Harnisch, G.; Damm, C.; Schmidt, U.; Bolz, T. | Conference Paper |
| 2017 | Fused silica GRISMs manufactured by hydrophilic direct bonding at moderate heating
Kalkowski, G.; Grabowski, K.; Harnisch, G.; Flügel-Paul, T.; Zeitner, U.; Risse, S. | Journal Article |
| 2017 | Grism manufacturing by low temperature mineral bonding
Kalkowski, G.; Grabowski, K.; Harnisch, G.; Flügel-Paul, T.; Zeitner, U.; Risse, S. | Conference Paper |
| 2017 | Slit manufacturing and integration for the Sentinel-4 NIR and UV-VIS spectrometers
Mohaupt, M.; Zeitner, U.; Harnisch, G. | Conference Paper |
| 2016 | Multi-resolution waveguide image slicer for the PEPSI instrument
Beckert, E.; Strassmeier, K.G.; Woche, M.; Harnisch, G.; Hornaff, M.; Weber, M.; Barnes, S. | Conference Paper |
| 2015 | Low temperature GRISM direct bonding
Kalkowski, G.; Harnisch, G.; Grabowski, K.; Benkenstein, T.; Ehrhardt, S.; Zeitner, U.; Risse, S. | Conference Paper |
| 2015 | PEPSI: The high-resolution ichelle spectrograph and polarimeter for the Large Binocular Telescope
Strassmeier, K.G.; Ilyin, I.; Järvinen, A.; Weber, M.; Woche, M.; Barnes, S.I.; Bauer, S.-M.; Beckert, Eric; Bittner, W.; Bredthauer, R.; Carroll, T.A.; Denker, C.; Dionies, F.; DiVarano, I.; Döscher, D.; Fechner, T.; Feuerstein, D.; Granzer, T.; Hahn, T.; Harnisch, G.; Hofmann, A.; Lesser, M.; Paschke, J.; Pankratow, S.; Plank, V.; Plüschke, D.; Popow, E.; Sablowski, D.; Storm, J. | Journal Article |
| 2012 | Contact-free exhaust system for vacuum compatible gas bearing guides
Heidler, N.; Schenk, C.; Harnisch, G.; Risse, S.; Schubert, G.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A. | Journal Article |
| 2012 | Development of a precision positioning system for electron beam applications
Mohaupt, M.; Harnisch, G.; Heidler, N.; Beckert, E.; Zerfas, P.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.; Döring, H.-J.; Heine, D.; Klein, M. | Conference Paper |
| 2009 | Dynamical non-contact exhaustion pipe for vacuum compatible air guided stages
Heidler, N.; Schenk, C.; Harnisch, G.; Risse, S.; Schubert, G.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A. | Conference Paper |
| 2008 | Aerostatisch gefuehrtes Tischsystem fuer die Vakuumanwendung
Schubert, G.; Jackel, C.; Kirschstein, U.-C.; Böhm, M.; Schenk, C.; Risse, S.; Harnisch, G.; Peschel, T.; Bauer, R. | Patent |
| 2008 | Aerostatische Lageranordnung mit zugeordneter elektrostatischer Vorspanneinheit, insbesondere fuer die Vakuumanwendung
Schubert, G.; Jackel, C.; Kirschstein, U.-C.; Böhme, M.; Schenk, C.; Risse, S.; Harnisch, G.; Peschel, T.; Bauer, R. | Patent |
| 2008 | Mittels aerostatischer Lagerelemente gefuehrter Tisch fuer Vakuumanwendung
Schubert, G.; Jackel, C.; Kirschstein, U.; Boehm, M.; Schenk, C.; Risse, S.; Harnisch, G.; Peschel, T.; Bauer, R. | Patent |
| 2006 | Electrostatic chuck for EUV masks
Kalkowski, G.; Risse, S.; Müller, S.; Harnisch, G. | Journal Article |
| 2005 | BELICHTUNGSANLAGE MIT HALTEEINRICHTUNG FUER EIN SUBSTRAT
Schubert, G.; Kirschstein, U.; Risse, S.; Harnisch, G.; Kalkowski, G.; Guyenot, V. | Patent |
| 2005 | Verfahren zur Ausrichtung eines optischen Elementes in Bezug zur Rotationsachse einer Welle
Kalkowski, G.; Risse, S.; Harnisch, G.; Gebhardt, A. | Patent |
| 2004 | High-precision assembly of micro-prisms
Harnisch, G.; Peschel, T.; Thorwirth, G.; Rudolph, B. | Conference Paper |
| 2004 | Leichtbaustrukturelement
Risse, S.; Damm, C.; Harnisch, G.; Peschel, T. | Patent |
| 2004 | Projection system for objective, multifocal perimetry
Riehemann, S.; Wäcker, M.; Palme, M.; Harnisch, G.; Damm, C.; Lippmann, U.; Notni, G. | Conference Paper |
| 2003 | VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM EINFUEHREN VON BIEGEELASTISCHEN FASERN IN LOECHER
Olbricht, K.; Schuster, M.; Kalkowski, G.; Harnisch, G.; Eberhardt, R.; Mohaupt, M. | Patent |
| 2002 | Adjustment robot for fiber optics assemblies
Guyenot, V.; Siebenhaar, C.; Peschel, T.; Gebhardt, A.; Damm, C.; Harnisch, G.; Thaut, M.; Rohde, M.; Maisenbacher, B.; Nebendahl, B.; Barnhart, D.; Pieper, K. | Conference Paper |
| 2002 | Bitte leise klopfen - Justierautomation für faseroptische Baugruppen
Guyenot, V.; Gebhardt, A.; Harnisch, G.; Damm, C.; Siebenhaar, C.; Peschel, T.; Rohde, M.; Thaut, M.; Pieper, K.; Maisenbacher, B.; Nebendahl, B.; Barnhart, D. | Journal Article |
| 2002 | Handling of microoptical components for microassembly
Beckert, E.; Mohaupt, M.; Harnisch, G.; Eberhardt, R. | Conference Paper |
| 2002 | Vorrichtung zur Bestimmung der Haftfestigkeit von auf Substraten aufgebrachten Beschichtungen
Schulz, U.; Harnisch, G.; Schmidt, U. | Patent |
| 2001 | Electrostatic chucks for lithography applications
Kalkowski, G.; Risse, S.; Harnisch, G.; Guyenot, V. | Journal Article |
| 2001 | Verankerung fuer implantierbare Herzklappenprothesen
Damm, C.; Weber, C.; Risse, S.; Guyenot, V.; Mohaupt, M.; Harnisch, G.; Doerrer, P.; Figulla, H.; Ferrari, M.; Lang, K. | Patent |
| 2000 | Vorrichtung fuer Eingriffe in eine roehrenfoermige Koerperhoehle
Moeller, A.; Harnisch, G. | Patent |
| 1999 | Knochenmarknagel
Damm, C.; Harnisch, G.; Weber, C.; Hofmann, G.; Baehr, J. | Patent |
| 1998 | Doppelsphärische Luftlager aus Glas bzw. Glaskeramik
Risse, S.; Kalkowski, G.; Harnisch, G.; Gebhardt, A. | Conference Paper |
| 1998 | Lagerbaugruppe
Harnisch, G.; Guyenot, V.; Kalkowski, G.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Damm, C. | Patent |
| 1996 | Intrakorporaler Knochenmarknagel
Harnisch, G.; Baehr, J.; Hofmann, G. | Patent |
| 1996 | Projektor
Jahn, R.; Damm, C.; Harnisch, G.; Guyenot, V. | Patent |