Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten von Kapillarrohren
Grimme, Ralf; Zorn, Christof
Patent
2014Verfahren: CO2-Reinigung und CSM-Partikelemission Übertragung - Reinraumlabor Fraunhofer IPA
Bürger, Frank; Grimme, Ralf; Wiesner, Lisa; Kreck, Guido
Presentation
2011Im Sinne der Gesundheit
Keller, Markus; Grimme, Ralf; Ernst, Christian
Journal Article
2011Reinigung und Reinheitskontrolle von Medizinprodukten
Keller, Markus; Ernst, Christian; Grimme, Ralf
Journal Article
2009Partikeldetektor und Verfahren zur Detektion von Partikeln
Grimme, Ralf
Patent
2009Partikelmesskopf, Partikelmessvorrichtung und Partikelmessverfahren zur Messung der Partikelfracht von Fluiden
Grimme, Ralf; Gommel, Udo; Gröning, Martin; Boos, Stefan
Patent
2008Bohrlochreinigung mit CO2: Sauberkeit bis auf den Grund
Zorn, C.; Grimme, R.
Journal Article
2008Methoden und Geräte zur Kontaminationskontrolle technischer Oberflächen
Grimme, Ralf; Schmauz, Günther; Modrich, Kai-Udo
Journal Article
2008Neue Aufgaben für die Reinigung
Rochowicz, Markus; Grimme, Ralf
Journal Article
2007CO2-Reinigungslanze mit Schwenkduese
Zorn, Christof; Grimme, Ralf
Patent
2007Neue CO2-Werkzeuge und Verfahren zur Innenreinigung von Bauteilen und Bohrlöchern
Grimme, Ralf; Zorn, Christof
Conference Paper
2007Verfahren und Werkzeug zur Reinigung von Kavitaeten
Zorn, Christof; Grimme, Ralf
Patent
2007Vorrichtung und Verfahren zur Ueberwachung der Partikelfracht eines Fluids
Grimme, Ralf; Rochowicz, Markus
Patent
2006Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Grimme, R.
Conference Paper
2006Sensorsystem für Reinigungsbäder
Rochowicz, M.; Grimme, R.
Journal Article
2006Verfahren zur Charakterisierung von Rückständen auf technischen Oberflächen - Übersicht und Beispiele
Rochowicz, M.; Grimme, R.
Conference Paper
2005Direct evaluation of the particulate cleanliness of surface
Schmauz, G.; Grimme, R.
Conference Paper
2005Lokale Reinigung von Funktionsflächen
Grimme, R.; Hauptmann, J.; Krieg, M.C.
Journal Article
2005Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Grimme, R.
Conference Paper
2005Methoden und Geräte zur Kontaminationskontrolle technischer Oberflächen
Grimme, R.; Schmauz, G.; Modrich, K.-U.
Conference Paper
2005Molecular Weiss domain polarization in piezoceramics to diaphragm, cantilever and channel construction in low-temperature-cofired ceramics for micro-fluidic applications
Khanna, P.K.; Ahmad, S.; Grimme, R.
Journal Article
2005Online-Qualitätsüberwachung mit Streiflicht
Schmauz, G.; Grimme, R.
Journal Article
2005Schmutz analysieren - Schäden vermeiden
Grimme, R.; Ernst, C.; Vohrer, U.; Leupolt, B.
Journal Article
2004KombiSens: Ein Sensorsystem zur Detektion von partikulären und filmischen Kontaminationen auf technischen Oberflächen
: Wegener, K.; Grimme, R.; Schmauz, G.; Meng, C.R.; Wiedenhöfer, M.; Dorndorf, M.; Phan, M.; Gorski, W.; Haist, T.; Tiziani, H.
Report
2004Miniature pressure sensor and micromachined actuator structure based on low-temperature-cofired ceramics and piezoelectric material
Khanna, P.K.; Hornbostel, B.; Grimme, R.; Schäfer, W.; Dorner, J.
Journal Article
2003Methoden zur lokalen Funktionalisierung von Oberflächen
Werner, D.; Grimme, R.
Conference Paper
2003Verfahren und Vorrichtung zur quantitativen und qualitativen on-line-Differenzierung von biotischen und abiotischen Partikeln
Koelblin, R.; Grimme, R.
Patent
2002Abschied von Traditionen. Strahlverfahren zur Feinreinigung in der Mikrotechnik
Werner, D.; Grimme, R.
Journal Article
2002Magazin fuer die Fixierung von Kleinteilen
Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schaefer, W.; Kaemper, K.P.; Berg, U.; Schmutz, W.; Ernst, G.; Renner, K.; Rothmaier, U.; Rudischhauser, J.
Patent
2002Vorrichtung und Verfahren zur Ueberpruefung einer Oberflaeche einer optischen Komponente
Stock, A.; Grimme, R.; Dettmann, H.
Patent
2002Vorrichtung und Verfahren zur Ueberpruefung einer Oberflaeche eines Gegenstands
Grimme, R.; Klumpp, B.
Patent
2001Absaugvorrichtung und -verfahren zur Lasermaterialbearbeitung und Laserreinigung
Grimme, R.; Lawrenz, W.; Willmann, J.; Schwaab, G.
Patent
2001Handhabungselement fuer Kleinteile und Verfahren zur Herstellung
Grimme, R.; Rochowicz, M.; Schlenker, D.; Stock, A.
Patent
2001Verfahren und Vorrichtung zur Detektion biotischer Kontaminationen auf Oberflaechen
Schuele, A.; Grimme, R.; Huen, J.; Abt, C.; Gueth, A.
Patent
2000Partikel werden sichtbar: Kleine Kontaminationen vor der Beschichtung erkennen
Grimme, R.; Rochowicz, M.
Journal Article
2000Präzisionsreinigung von Mikrostrukturen mittels UV-Laser
Rochowicz, M.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Conference Paper
2000Überwachung der Oberflächenreinheit von Bauteilen und Einrichtungen im reinen Umfeld
Grimme, R.; Rochowicz, M.
Conference Paper
1999Automatisierte Montage und Justage von Mikrokomponenten
Schünemann, M.; Grimme, R.; Irion, K.-M.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schäfer, W.; Rothmaier, U.
Journal Article
1999Bioaerosole - Monitoring mit einem neuartigen Partikelzähler
Schüle, A.; Kölblin, R.; Grimme, R.; Trick, I.
Journal Article
1999Echtzeit-Differenzierung von luftgetragenen biotischen und abiotischen Partikeln
Schüle, A.; Grimme, R.; Trick, I.
Journal Article
1999Kennzeichnung und Identifikation von Mikrosystemen
Matuscheck, P.; Stock, A.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schäfer, W.
Conference Paper
1999Oberflächen-Partikelmeßtechnik
Grimme, R.; Rochowicz, M.
Conference Paper
1999Verfahren und Vorrichtung zur Montage und Justierung von Bauteilen auf einer Befestigungsunterlage
Schwaab, G.; Grimme, R.; Lawrenz, W.
Patent
1999Vorrichtung sowie Verfahren zur Kennzeichnung von technischen und/oder elektronischen Bauteilen
Lawrenz, W.; Schwaab, G.; Grimme, R.
Patent
1998Detection of Biological Contamination
Grimme, R.; Kölblin, R.; Schüle, A.; Trick, I.
Conference Paper
1998Gefahr aus der Luft: On-line-Differenzierung von luftgetragenen biotischen und abiotischen Partikeln
Kölblin, R.; Trick, I.; Grimme, R.
Journal Article
1998Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components
Schwaab, G.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Conference Paper
1998Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components
Schwaab, G.; Grimme, R.; Rockowicz, M.; Schäfer, W.
Conference Paper
1998Lokale Reinigungsverfahren
Grimme, R.; Rochowicz, M.; Werner, D.; Schäfer, W.
Conference Paper
1998A Micro-fab for the Micro-assembly of Optical Lenses
Schäfer, W.; Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schünemann, M.
Conference Paper
1998A Micro-fab for the Micro-assembly of Optical Lenses
Schäfer, W.; Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schünemann, M.
Conference Paper
1998Produktionskonzepte für die Mikrotechnik
Westkämper, E.; Schünemann, M.; Schlenker, D.; Bauer, G.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Conference Paper
1997Automatisierte Montage und Justage von Mikrokomponenten
Schünemann, M.; Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Irion, K.-M.; Schmutz, W.
Conference Paper
1997Cluster - Fertigungskonzept
Schäfer, W.; Grimme, R.
Book Article
1997Industrialisierung der Fertigungstechnik für Mikrosysteme
Westkämper, E.; Schünemann, M.; Schlenker, D.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Conference Paper
1997Industrielle Produktion von optischen Systemen
Grimme, R.; Schlenker, D.
Conference Paper
1997Manufacturing Concepts and Development Trends in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Schünemann, M.; Grimme, R.; Kaufmann, T.S.; Schwaab, G.; Bader, U.; Schäfer, W.; Dorner, J.
Conference Paper
1997Modular magazine for the suitable handling of microparts in industry
Grimme, R.; Schmutz, W.; Schlenker, D.; Schünemann, M.; Stock, A.; Schäfer, W.
Conference Paper
1997Selektives Reinigen von Mikrostrukturen
Ambrosy, A.; Grimme, R.
Conference Paper
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Entwicklungstrends in der industriellen Produktion von Mikrosystemen
Grimme, R.; Schünemann, M.; Großer, V.; Reichl, H.; Schäfer, W.; Schwaab, G.
Conference Paper
1996Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schwaab, G.; Kaufmann, T.S.; Bader, U.; Schlenker, D.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Grimme, R.
Conference Paper
1996Grundlagen zur Justage von Einzellinsen
Schäfer, W.; Schlenker, D.; Grimme, R.; Stock, A.; Rochowitz, M.
Conference Paper
1996Halbautomat zur Montage von miniaturisierten optischen Systemen
Schlenker, D.; Grimme, R.; Stock, A.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Inspektionsmodul zur Prüfung optischer Bauteile
Stock, A.; Grimme, R.; Schlenker, D.; Dettmann, H.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Microfabrication techniques for microsystems - mu m Fab - and first practical experience
Grosser, V.; Hillmann, V.; Reichl, H.; Grimme, R.
Conference Paper
1996Mikrofab - Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme
Schünemann, M.; Grimme, R.; Schwaab, G.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Modular System for Laser Microfabrication
Grimme, R.; Hillmann, V.; Jürss, M.; Otschik, P.; Poßner, T.
Conference Paper
1996Modulares Gerätekonzept zur Mikrolinsenmontage
Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996New Cleanroom and Cleanliness Concepts for Microsystem Production
Dorner, J.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Partikelmessung in der Luft und Abnahmemessung von Reinräumen
Grimme, R.; Kaufmann, T.S.
Conference Paper
1996Reinigung von Mikrosystemen und Mikrokomponenten
Grimme, R.; Schwaab, G.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Sensoren, Aktoren auf der Basis eines Sol- Gel - Moduls
Otschik, P.; Kluge, A.; Grimme, R.; Schönecker, A.; Schumacher, A.; Gesemann, H.J.
Conference Paper
1996Sensors/Actuators of the functional ceramics based on Sol-Gel technique for microsystems
Grimme, R.; Otschik, P.; Gesemann, H.J.
Conference Paper
1996A Versatile Spray-Spin-Tool for Wet Chemistry Processes in a Microfabrication Line
Kluge, A.; Grimme, R.
Conference Paper
1996Eine vielseitige Spray-Spin-Anlage
Kluge, A.; Grimme, R.
Conference Paper
1995Development Trends in the Industrial Production of Microsystems
Schäfer, W.; Schuenemann, M.; Grimme, R.; Grosser, V.
Conference Paper
1995Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen
Schäfer, W.; Grimme, R.; Schünemann, M.
Conference Paper
1995Industrielle Produktion von Mini- und hochintegrierten Endoskopen
Grimme, R.; Ernst, G.; Schäfer, W.; Schmutz, W.
Conference Paper
1995Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.
Conference Paper
1994Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.
Conference Paper
1993Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.; Kahlden, T. von
Conference Paper
1992Partikelmeßtechnik auf dem Prüfstand
Ernst, C.; Grimme, R.; Kahlden, T. von; Müller, B.
Journal Article