Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2013HiBarSens: Measurement of barrier properties by tunable diode laser absorption spectroscopy (TDLAS)
Beese, H.; Grählert, W.; Kaskel, S.; Grübler, J.; Koch, J.; Pietsch, K.
Conference Paper
2013NIR-spektroskopische in-line Feuchtesensorik
Grählert, Wulf
Report
2013Screening of porous materials by thermal response measurements
Leistner, M.; Grählert, W.; Kaskel, S.
Journal Article
2012Infrasorb: Optical detection of the heat of adsorption for high throughput adsorption screening of porous solids
Wollmann, P.; Leistner, M.; Grählert, W.; Throl, O.; Dreisbach, F.; Kaskel, S.
Journal Article
2012Permeationsmessung für Ultrabarrierematerialien
Grählert, Wulf; Potinecke, Thomas; Slama, Alexander
Book Article
2011High-throughput screening: Speeding up porous materials discovery
Wollmann, P.; Leistner, M.; Stoeck, U.; Grünker, R.; Gedrich, K.; Klein, N.; Throl, O.; Grählert, W.; Senkovska, I.; Dreisbach, F.; Kaskel, S.
Journal Article
2010HiBarSens - Ein neuartiges Messsystem zur Bestimmung der Permeationsrate flexibler Ultrabarrierematerialien
Grählert, W.; Beese, H.; Kaskel, S.; Grübler, J.; Pietsch, K.
Conference Paper
2010New possibilities for applications based on carbon nanotubes
Roch, A.; Talens, E.; Richter, C.; Kroll, M.; Heinrich, J.; Ziegenrücker, R.; Endmann, T.; Grählert, W.; Jost, O.; Leson, A.; Beyer, E.
Abstract, Conference Paper
2010New possibilities for applications based on carbon nanotubes
Roch, A.; Roch Talens, E.; Richter, C.; Kroll, M.; Heinrich, J.; Ziegenrücker, R.; Endmann, T.; Grählert, W.; Jost, O.; Leson, A.; Beyer, E.
Conference Paper
2010Scaling-up of ICP technology for continuous production of metallic nanopowders for battery applications
Leparoux, M.; Jäggi, C.; Put, S.; Nelis, D.; Colombo,V.; Ghedini, E.; Grählert, W.; Kuntze, T.; Dvorak, M.; Jordy, C.
Abstract, Conference Paper
2010Scaling-up of ICP technology for continuous production of metallic nanopowders for battery applications
Leparoux, M.; Jäggi, C.; Put, S.; Nelis, D.; Colombo, V.; Ghedini, E.; Grählert, W.; Kuntze, T.; Dvorak, M.; Jordy, C.
Conference Paper
2009Abdichtung fuer Fluid enthaltende Kammer
Beese, H.; Grübler, J.; Grählert, W.; Kaskel, S.
Patent
2009Atmospheric pressure plasma processes for crystalline silicon wafer production
Dani, I.; Lopez, E.; Dresler, B.; Linaschke, D.; Leistner, M.; Grählert, W.; Kaskel, S.; Beyer, E.
Book Article
2009Control of plasma process instabilities during thin silicon film deposition
Hrunski, D.; Grählert, W.; Beese, H.; Kilper, T.; Gordijn, A.; Appenzeller, W.
Conference Paper, Journal Article
2009In-line plasma-chemical etching of crystalline silicon solar wafers at atmospheric pressure
Linaschke, D.; Leistner, M.; Grabau, P.; Mäder, G.; Grählert, W.; Dani, I.; Kaskel, S.; Beyer, E.
Journal Article
2009MEMS analyzer for fast determination of mixed gases
Otto, T.; Saupe, R.; Weiß, A.; Stock, V.; Throl, O.; Grählert, W.; Kaskel, S.; Schreck, H.; Gessner, T.
Conference Paper
2008Analysis and minimisation of plasma process instabilities in thin film deposition
Hrunski, D.; Gordijn, A.; Stickelmann, U.; Kilper, T.; Appenzeller, W.; Grählert, W.; Beese, H.
Journal Article
2008In-line plasma-chemical etching of crystalline silicon wafers
Linaschke, D.; Leistner, M.; Mäder, G.; Grählert, W.; Dani, I.; Kaskel, S.
Journal Article
2008Laserdiodenspektroskopie. Ein selektives hoch empfindliches Werkzeug zur Spurengasanalytik
Grählert, W.
Journal Article
2008Optisch-spektroskopische Bestimmung der Permeabilität von Ultrabarrierematerialien
Beese, H.; Grählert, W.; Grübler, R.; Kaspersen, P.; Bohman, A.
Conference Paper
2008Plasma enhanced chemical etching at atmospheric pressure for crystalline silicon wafer processing and process control by in-line FTIR gas spectroscopy
Linaschke, D.; Leistner, M.; Mäder, G.; Grählert, W.; Dani, I.; Kaskel, S.; Lopez, E.; Hopfe, V.; Kirschmann, M.; Frenck, J.
Conference Paper
2008Spektroskopische Bestimmung der Permeabilität von Ultrabarrierematerialien
Beese, H.; Grübler, J.; Grählert, W.; Kaspersen, P.; Bohman, A.
Conference Paper
2008Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Kohlenstoff-Nanoroehren oder Fullerenen
Maercz, M.; Leistner, M.; Hopfe, V.; Graehlert, W.; Dani, I.; Schultrich, B.
Patent
2007Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Permeationsrate mindestens eines Permeaten, durch ein eine Diffusionssperre bildendes Element
Beese, H.; Graehlert, W.; Hopfe, V.
Patent
2006In-line Monitoring von Feuchtespuren und weiteren kritischen Verunreinigungen in Bulk- und Korrosivgasen der Mikroelektronik
Beese, H.; Grählert, W.; Hopfe, V.; Petzold, F.; Kaspersen, P.; Bohman, A.; Mackrodt, P.
Conference Paper
2006ISPROM, ein in-situ-Multigasanalysator für CVD- und Ätzprozesse
Grählert, W.; Dani, I.; Mäder, G.; Throl, O.; Hopfe, V.; Pietsch, K.; Wünsche, T.; Dreyer, T.
Conference Paper
2005Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Gasen oder Gasgemischen mittels Laserdiodenspektroskopie
Maeder, G.; Graehlert, W.; Hopfe, V.; Beese, H.; Hofmueller, E.
Patent
2004Quantitative-analysis of the in-situ fourier-transform infrared-absorption And emission-spectrum of gas-phase SiO (delta-v=1 and 2) produced in Si-N-O fiber growth
Martin, P.A.; Daum, R.; Beil, A.; Vogt, U.; Vital, A.; Graehlert, W.; Leparoux, M.; Hopfe, V.
Journal Article
2003In-situ monitoring for CVD processes
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Spee, C.I.M.A.; Tell, R.; Martin, P.; Beil, A.; Pemble, M.; Weiss, R.; Vogt, U.; Grählert, W.
Journal Article
2002In-situ monitoring for CVD processes
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Spee, C.I.M.A.; Tell, R.; Martin, P.; Beil, A.; Pemple, M.; Weiss, R.; Vogt, U.; Grählert, W.
Conference Paper
2002Prozessüberwachung industrieller CVD-Beschichtungsanlagen mittels NIR-DLS- und FTIR-Sensorik
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Grählert, W.; Raisbeck, D.; Rivero, J.M.; Throl, O.
Conference Paper
2002Simulationsrechnungen zur FTIR-reflexionsspektroskopischen Charakterisierung von Schicht- und Fasersystemen
Grählert, W.
Book
2001Gesicherte Interpretationen der FTIR-Reflexionsspektren SiC-CVD-Schichten durch Spektrensimulation
Grählert, W.; Hopfe, V.
Journal Article
2001NIR Diode Laser Based Process Control for Industrial CVD Reactors
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Raisbeck, D.; Rivero, J.M.; Graehlert, W.; Throl, O.; Mol, A.M.B. van; Spee, C.I.M.A.
Conference Paper
2001NIR diode laser based process control for industrial CVD reactors
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Raisbeck, D.; Rivero, J.M.; Graehlert, W.; Throl, O.; Mol, A.M.B. van; Spee, C.I.M.A.
Journal Article
2001NIR laser diode and FTIR based process control for industrial CVD reactors
Hopfe, V.; Shee, D.W.; Graehlert, W.; Throl, O.
Journal Article
2000In-situ FTIR spectroscopic monitoring of a CVD controlled Si-N-O fibre growth process
Vogt, U.; Vital, A.; Graehlert, W.; Leparoux, M.; Ewing, H.; Beil, A.; Daum, R.; Hopfe, V.
Journal Article
1999Continuous coating of ceramic fibres by industrial-scale laser driven CVD: fibre modification and structure of interfaces
Hopfe, V.; Schönfeld, K.; Dresler, B.; Leparoux, M.; Leupolt, B.; Grählert, W.
Conference Paper
1999FTIR based process control for industrial reactors
Hopfe, V.; Grählert, W.; Throl, O.
Journal Article
1999Insights on structural variations of protein adsorption layers on hydrophobic fluorohydrocarbon polymers gained by spectroscopic ellipsometry. Part 1
Werner, C.; Eichhorn, K.-J.; Grundke, K.; Simon, F.; Grählert, W.; Jacobasch, H.-J.
Journal Article
1999Optical modelling vs. FTIR reflectance microscopy. Characterization of laser treated ceramic fibres
Grählert, W.; Leupolt, B.; Hopfe, V.
Journal Article
1998FTIR monitoring of industrial scale CVD processes
Hopfe, V.; Mosebach, H.; Meyer, M.; Sheel, D.W.; Grählert, W.; Throl, O.; Dresler, B.
Conference Paper
1998FTIR reflectance spectroscopy of SICxNyOz(H) ceramic coatings. Structure interpretation by optical modelling
Grählert, W.; Hopfe, V.
Conference Paper
1998A method for checking homogeneity of subsurface regions by variable angle ATR
Hopfe, I.; Eichhorn, K.; Grählert, W.; Hopfe, V.
Conference Paper
1997FTIR investigations and modelling of anisotropic materials. Application to carbon fibre composites
Grählert, W.; Hopfe, V.
Journal Article
1995FTIR investigations and modelling. Application to carbon fibre composites
Grählert, W.; Hopfe, V.
Conference Paper
1993Infrared reflection studies of ceramics: characterization of SiC layers on graphite substrates
Hopfe, V.; Graehlert, W.; Brennfleck, K.; Korte, E.H.; Theiß, W.
Journal Article
1993IR specular reflectance studies on rough-surfaced solids and on layered systems with nonuniform interfaces
Hopfe, V.; Korte, E.H.; Klobes, P.; Graehlert, W.
Journal Article
1993Optical data of rough-surfaced ceramics
Hopfe, V.; Korte, E.H.; Klobes, P.; Graehlert, W.
Journal Article