Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2005Neue Verfahren zum chemisch-mechanischen Reinigen von Einzelwafern für Sub-100-mm-Technologie - CMC Cleaner
: Gentischer, Josef (Projektleiter)
Study
2005Transportvorrichtung mit speziellen Kettengliedern zum Transport von zu prozessierenden Elementen durch eine Temperaturzone
Biro, D.; Gentischer, J.
Patent
2004Plasma etching for industrial in-line processing of c-si solar cells
Rentsch, J.; Emanuel, G.; Schetter, C.; Aumann, T.; Theirich, D.; Gentischer, J.; Roth, K.; Fritzsche, M.; Dittrich, K.-H.; Preu, R.
Presentation
2004Transport systems for industrial in-line diffusion of silicon solar cells
Biro, D.; Preu, R.; Willeke, G.; Untiedt, D.; Wandel, G.; Gentischer, J.
Conference Paper
2003Plasma etching for industrial in-line processing of c-Si solar cells
Rentsch, J.; Emanuel, G.; Schetter, C.; Aumann, T.; Theirich, D.; Gentischer, J.; Roth, K.; Fritzsche, M.; Dittrich, K.-H.; Preu, R.
Conference Paper
2002High throughput laser isolation of crystalline silicon solar cells
Emanuel, G.; Schneiderlöchner, E.; Stollhof, J.; Gentischer, J.; Preu, R.; Lüdemann, R.
Conference Paper
2000Vorrichtung zum kontaminationsfreien, kontinuierlichen oder getakteten Transport von scheibenfoermigen Gegenstaenden, insbesondere Substraten oder Wafern, durch eine geschlossene Behandlungsstrecke
Schmutz, W.; Gentischer, J.; Preu, R.; Moeller, R.; Guethenke, G.; Schweitzer, G.
Patent
1994Airless-Spruehgeraet
Gentischer, J.
Patent
1992Airless-Spruehgeraet
Gentischer, J.; Kwasny, P.; Breitschwerdt, G.
Patent
1992Handhabungsgeraet
Gentischer, J.
Patent
1989Einweg-Airless-Spruehdose mit Druckgasantrieb
Illig, E.; Gentischer, J.; Kwasny, P.
Patent
1989Fertigungssystem fuer Halbleitersubstrate
Kunze Concewitz, H.; Schmutz, W.; Mann, R.; Olbrich, H.; Gentischer, J.; Fruehauf, W.; Dorner, J.; Breitschwerdt, G.
Patent
1989Pneumatische Sensoren
Gentischer, J.
Book Article
1989Sicherheitsventil fuer Erschliessungsrohre
Tepass, H.; Gentischer, J.; Bartz, L.
Patent
1989Sprinklerkopf
Denner, W.J.; Kniep, V.; Gentischer, J.; Meinert, E.
Patent
1987Duesenanordnung bei einer Einrichtung zum Trocknen von Fahrzeugen
Gentischer, J.; Schmutz, W.; Litsche, H.; Breitschwerdt, G.; Kasberger, P.; Scheller, H.
Patent
1986Vorrichtung zum Schutz der Oberflaeche von Bauelementen
Gentischer, J.
Patent
1985Einrichtung zum Steuern von Arbeitsgeraeten, insbesondere von Geblaesen, Buersten, Duesen oder dgl. in einer automatischen Fahrzeugwaschanlage
Eissler, W.; Bissinger, N.; Beck, R.; Scheller, H.; Kasberger, P.; Wicha, C.; Gentischer, J.
Patent
1985Vorrichtung zum Vereinzeln und Transportieren des jeweils obersten Blattes eines Stapels von Blaettern oder blattfoermigen Gegenstaenden
Illig, E.; Gentischer, J.; Schmutz, W.
Patent
1984Druckaufnehmer im Preisdruck - Marktsituation - Angebotsuebersicht
Litsche, H.; Gentischer, J.; Schmutz, W.
Journal Article
1984Drueckt der Schuh bei der Auswahl? Druckschalter, Marktuebersicht - Angebotsuebersicht
Litsche, H.; Gentischer, J.; Schmutz, W.
Journal Article
1984Einrichtung zur Anzeige kleiner pneumatischer oder hydraulischer Druckdifferenzen
Gentischer, J.
Patent
1984Pruefen in der Fertigung
Eissler, W.; Gentischer, J.
Book Article
1983Geblaese zum Trocknen von Flaechen
Gentischer, J.; Schmutz, W.; Litsche, H.; Scheller, H.; Kasberger, P.
Patent
1983Ringstrahlsensoren Marke Eigenbau - Objekterkennung auf kleinstem Raum
Gentischer, J.
Journal Article
1982Untersuchung und Entwicklung Fluessigkeitsbetriebener Sensoren
Gentischer, J.
Journal Article
1982Untersuchung und Entwicklung fluessigkeitsbetriebener Sensoren
Gentischer, J.
Journal Article
1981Sensortechnik 2: Pneumatische Sensoren - Physikalische Grundlagen
Gentischer, J.
Journal Article
1980EINRICHTUNG ZUR KOMPENSATION VON VERSORGUNGSDRUCKSCHWANKUNGEN BEI EINER MESSDUESE ZUR ABSTANDSMESSUNG
Gentischer, J.; Eissler, W.
Patent
1980Fluidisch/elektronisches Prüf- und Sortiergerät zur Dickenprüfung im My-m-bereich
Gentischer, J.; Eißler, W.
Conference Paper
1979Werkzeugbruchkontrolle mit Hilfe Kuehl- Bzw. Schmiermittel-betriebener Aufnehmer
Gentischer, J.; Bergner, E.
Journal Article
1978Dynamische Untersuchungen an hydraulischen Aufnehmern ohne bewegte Teile zum Berührungslosen Antasten
Gentischer, J.
Journal Article
1976Experimentelle Untersuchungen an Fluidischen Ringstrahl-sensoren
Wiedmann, P.; Gentischer, J.
Journal Article
1975Auf einen Blick: Marktuebersicht Ringstrahlsensoren
Wiedmann, P.; Schaupt, E.; Gentischer, J.
Journal Article
1975Miniaturisierter Ringstrahl-sensor
Wiedmann, P.; Gentischer, J.
Journal Article