Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1996Verfahren zum Herstellen eines vertikalen Leistungsbauelementes mit reduzierter Minoritaetstraegerlebensdauer in dessen Driftstrecke
Gassel, H.; Muetterlein, B.; Priefert, D.; Truong, D.N.; Vogt, H.
Patent
1995Herstellung von SIMOX-Substraten mit reduzierter Implantationsdosis
Gassel, H.
Book Article
1995Untersuchung der SIMOX-Technologie zur Erzeugung anwendungsspezifischer SOI-Substrate
Gassel, H.
Dissertation
1995Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterstruktur fuer eine integrierte Leistungsschaltung mit einem vertikalen Leistungsbauelement
Gassel, H.; Muetterlein, B.; Vogt, H.; Zimmer, G.
Patent
1994Electrical and structural characteristics of thin buried oxides
Meda, L.; Bertoni, S.; Cerofolini, G.F.; Gassel, H.
Journal Article
1994Improvement of SIMOX buried oxide breakdown voltage by multiple step and multiple energy implantation
Gassel, H.; Vogt, H.
Conference Paper
1994SOI-Herstellung und Anwendung am Fraunhofer-Institut IMS Duisburg.
Gassel, H.
Conference Paper
1994Structure and electrical characteristics of a thin buried oxide containing silicon inclusions
Meda, L.; Bertoni, S.; Cerofolini, G.; Spaggiari, C.; Gassel, H.
Conference Paper
1993Electrical and structural characteristics of thin buried oxide
Meda, L.; Bertoni, S.; Cerofolini, G.F.; Gassel, H.
Conference Paper
1993Novel approach to defect etching in thin film silicon-on-insulator
Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.
Journal Article
1993SIMOX and wafer bonding, combination of competitors complements one another
Gassel, H.; Vogt, H.
Conference Paper
1993Verfahren zum Herstellen einer monokristallinen Siliziumschicht auf einem vergrabenen Dielektrikum
Gassel, H.; Vogt, H.
Patent
1992Minimum oxygen dose for reliable application of SIMOX
Badenes, G.; Burbach, G.; Gassel, H.; Vogt, H.; Walter, A.
Conference Paper
1992Novel approach to defect etching in thin film SOI. Part 1
Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.
Conference Paper
1992Novel approach to defect etching in thin film SOI. Part 2
Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.
Conference Paper
1992SIMOX, an efficient etch-stop to fabricate silicon membranes with well defined thickness. Part 1
Dura, H.-G.; Gassel, H.; Mokwa, W.; Vogt, H.
Conference Paper
1992SIMOX, an efficient etch-stop to fabricate silicon membranes with well defined thickness. Part 2
Dura, H.-G.; Gassel, H.; Mokwa, W.; Vogt, H.
Conference Paper
1991Measurement of SOI film thickness
Badenes, G.; Abel, H.B.; Burbach, G.; Gassel, H.; Vogt, H.
Conference Paper
1991SIMOX-devices for analog circuits
Badenes, G.; Burbach, G.; Gassel, H.; Vogt, H.
Conference Paper
1991Strukturelle und morphologische Erscheinungen bei der Rekristallisation von SIMOX-Wafern
Vöhse, H.; Burbach, G.; Gassel, H.; Höch, A.
Conference Paper
1990CMOS-Technologie auf SIMOX-Wafern
Belz, J.; Burbach, G.; Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.
Book Article
1990Untersuchung und Entwicklung der CMOS-Technologie auf vergrabenem Isolator als einer neuen VLSI-Technologie. Berichtszeitraum 01.07.1987 - 31.09.1990. BMFT-Abschlußbericht 110620
Abel, H.B.; Gassel, H.; Belz, J.; Burbach, G.; Vogt, H.; Debusmann, K.; Peter-Weidemann, J.; Redlich, S.; Götzen, R.
Book