Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Handreichung zum Umgang mit Forschungssoftware
Katerbow, M.; Feulner, G.; Bornschein, M.; Brembs, B.; Erben-Russ, M.; Förstner, K.; Franke, M.; Fritzsch, B.; Fuhrmann, J.; Goedicke, M.; Janosch, S.; Konrad, U.; Zielke, D.
Report
2010Acid diffusion effects between resists in freezing processes used for contact hole patterning
Fuhrmann, J.; Fiebach, A.; Erdmann, A.; Trefonas, P.
Conference Paper, Journal Article
2010Modeling of double patterning interactions in litho-cure-litho-etch (LCLE) processes
Erdmann, A.; Shao, F.; Fuhrmann, J.; Fiebach, A.; Patsis, G.P.; Trefonas, P.
Conference Paper
2009A model of self-limiting residual acid diffusion for pattern doubling
Fuhrmann, J.; Fiebach, A.; Uhle, M.; Erdmann, A.; Szmanda, C.R.; Truong, C.
Conference Paper, Journal Article
2006Benchmark of a lithography simulation tool for next generation applications
Tollkühn, B.; Uhle, M.; Fuhrmann, J.; Gärtner, K.; Heubner, A.; Erdmann, A.
Conference Paper, Journal Article