Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1992Automatisierungskonzepte und -komponenten für Reinraumanwendungen
Frühauf, W.
Conference Paper
1992Reinraumeinrichtung
Fruehauf, W.
Patent
1991Ist deutsches Halbleiterfertigungsequipment noch konkurrenzfähig
Frühauf, W.
Journal Article
1991Materialdistribution und neue Konzepte für die Fertigung im Reinraumbereich
Frühauf, W.
Conference Paper
1990Automatisierungskonzepte für die Fertigung und Materialverteilung im Reinraum
Frühauf, W.
Conference Paper
1990Flexibel Medien ver- und entsorgen
Warnecke, H.-J.; Müller, B.; Dorner, J.; Frühauf, W.; Mann, R.
Journal Article
1990Flexible Medienversorgung und -entsorgung. Für fotolithographisches Prozeßzentrum neuartiges Konzept realisiert
Warnecke, H.-J.; Dorner, J.; Frühauf, W.; Mann, R.; Müller, B.
Journal Article
1990New manufacturing concepts for the production of integrated circuits
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Schmutz, W.
Conference Paper
1990Schrittweise Realisierung bringt den Erfolg. Automatisierungskonzepte für die Fertigung im Reinraum
Frühauf, W.
Journal Article
1990Trennung von Mensch und Maschine. Reinraumfertigung
Frühauf, W.
Journal Article
1989Fertigungssystem fuer Halbleitersubstrate
Kunze Concewitz, H.; Schmutz, W.; Mann, R.; Olbrich, H.; Gentischer, J.; Fruehauf, W.; Dorner, J.; Breitschwerdt, G.
Patent
1989Flexibles fotolithographisches Prozeßzentrum
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Mann, R.; Olbrich, W.; Schmutz, W.
Journal Article
1989Halbleiterfertigungstechnik auf der Semicon West 1989
Frühauf, W.; Lunzer, H.-R.
Conference Paper
1989Lokale Reinräume. Flexibles, fotolithographisches Prozeßzentrum für die Halbleiterfertigung
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Kelemen, M.; Mann, R.
Journal Article
1988Flexible photolithographic process center
Fruehauf, W.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Conference Paper
1988Halbleiterfertigungstechnik auf der Semicon Europe 1988
Fruehauf, W.
Journal Article
1988Modulare Fertigungszelle fuer fotolithographische Prozesse
Mann, R.; Fruehauf, W.
Journal Article
1987Automated material handling for defect reduction
Fruehauf, W.; Geissinger, J.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.
Conference Paper
1987Automatisierungs-Gesichtspunkte fuer Halbleiterfertigungsgeraete
Fruehauf, W.; Kahlden, T. von; Mack, A.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.
Conference Paper
1987Flexible Photolithographic Process Center -FFP-
Fruehauf, W.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Journal Article
1987Studie über den Stand der Technik und zukünftige Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren
Aderhold, W.; Frühauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Study
1986Studie ueber den Stand der Technik und zukuenftige Anforderungen an Fertigungseinrichtunen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Beruecksichtigungen verschiedener Herstellungsverfahren
Aderhold, W.; Fruehauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Study
1985Trend bei elektronischen Bauelementen
Fruehauf, W.
Journal Article

 

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