Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2013Influence of high-energy electron irradiation on ultra-low-k characteristics and transistor performance
Steidel, Katja; Choi, Kang-Hoon; Freitag, Martin; Gutsch, Manuela; Hohle, Christoph; Seidel, Robert; Thrun, Xaver; Werner, Thomas
Conference Paper
2012Anforderungen an die Produktivität und Komponentisierung von Dienstleistungen
Becker, Michael; Böttcher, Martin; Freitag, Mike; Klingner, Stephan; Lamberth, Sabrina; Meiren, Thomas
: Böttcher, Martin (Hrsg.); Meiren, Thomas (Hrsg.)
Study
2012Anforderungen an die Produktivität und Komponentisierung von Dienstleistungen. Handlungsempfehlungen
Freitag, Mike
Book Article
2012Demonstration of 22nm SRAM features with patternable hafnium oxide based resist material using electron-beam lithography
Thrun, Xaver; Choi, Kang-Hoon; Freitag, Martin; Gutsch, Manuela; Hohle, Christoph; Grenville, Andrew; Stowers, Jason K.; Bartha, Johann W.
Conference Paper
2012Evaluation of direct patternable inorganic spin-on hard mask materials using electron beam lithography
Thrun, X.; Choi, K.H.; Freitag, M.; Grenville, A.; Gutsch, M.; Hohle, C.; Stowers, J.K.; Bartha, J.W.
Conference Paper, Journal Article
2012Feasibility study of optical/e-beam complementary lithography
Hohle, Christoph; Choi, Kang-Hoon; Freitag, Martin; Gutsch, Manuela; Rudolph, Matthias; Thrun, Xaver; Jaschinsky, Philipp; Kahlenberg, Frank; Klein, Christof; Klikovits, Jan
Conference Paper
2012Produktivität von Dienstleistungen
Freitag, Mike; Lamberth, Sabrina
Book Article
2011Efficient large volume data preparation for electron beam lithography for sub-45nm node
Choi, Kang-Hoon; Gutsch, Manuela; Freitag, Martin; Hohle, Christoph
Conference Paper
2011Fast characterization of line end shortening and application of novel correction algorithms in e-beam direct write
Freitag, M.; Choi, K.-H.; Gutsch, M.; Hohle, C.; Galler, R.; Krueger, M.; Weidenmueller, U.
Conference Paper
2011Fast characterization of line end shortening and application of novel correction algorithms in e-beam direct write
Freitag, Martin; Choi, Kang-Hoon; Gutsch, Manuela; Hohle, Christoph; Galler, Reinhard; Krüger, Michael; Weidenmüller, Ulf
Journal Article
2011Hybride Produkte. Innovationsbewertung für produktbezogene Dienstleistungen
Freitag, M.; Rogowski, T.
Book Article
2011InnoScore® service. Evaluating innovation for product-related services
Freitag, M.; Ganz, W.
Conference Paper
2011Line end shortening and application of novel correction algorithms in E-beam direct write
Freitag, M.; Choi, K.-H.; Gutsch, M.; Hohle, C.
Conference Paper
2011Method of collecting and categorising performance indicators to measure productivity of modular services using an IT tool
Freitag, Mike; Lamberth, Sabrina; Klingner, Stephan; Böttcher, Martin
Conference Paper
2011Variable-shaped e-beam lithography enabling process development for future copper damascene technology
Jaschinsky, P.; Erben, J.-W.; Choi, K.-H.; Schulze, K.; Gutsch, M.; Freitag, M.; Schulz, S.E.; Steidel, K.; Hohle, C.; Gessner, T.; Kücher, P.
Journal Article, Conference Paper
2010Checkerboard pattern for PSF parameter determination in electron beam lithography
Gutsch, M.; Choi, K.-H.; Freitag, M.; Hauptmann, M.; Hohle, C.; Jaschinsky, P.; Keil, K.
Conference Paper
2010Conventional and reversed image printing in electron beam direct write lithography with proximity effect corrections based on dose and shape modification
Choi, K.-H.; Gutsch, M.; Freitag, M.; Keil, K.; Jaschinsky, P.; Hohle, C.
Conference Paper
2010Einleitung »Services Made in Germany«
Freitag, M.
Book Article
2010KoProServ: Komponenten, Produktivität, Services
Freitag, M.
Conference Paper
2010Die Performance steigern
Freitag, M.; Hofmann, H.R.; Siemes, J.; Stofmeel, A.
Book Article
2010Ein Schnippchen dem Schnäppchen
Selinger, G.; Husen, C. van; Freitag, M.
Book Article
2010Service Engineering internationaler Dienstleistungen
: Spath, D.; Fähnrich, K.-P.; Freitag, M.; Meyer, K.
Book
2010Sicher zum Ziel. Die fünf Schritte
Freitag, M.
Book Article
2010Von der Dienstleistung zur hybriden Wertschöpfung - Ein Anwendungsbeispiel zum Asset Management in den Netzdienstleistungen
Brettreich-Teichmann, W.; Freitag, M.
Book Article
2010Wertschöpfung durch strategische Outsourcingpartnerschaften im Customer Care
Stauss, B.; Freitag, M.; Jedrassczyk, M.; Pasing, A.
Book Article
2010Das Wichtigste auf einen Blick
Freitag, M.
Book Article
2009Unternehmenskultur und Unternehmensleitbilder
Martinetz, S.; Freitag, M.
Book Article
2008Entwicklung internationaler produktbezogener Dienstleistungen
: Fähnrich, K.-P.; Müller, R.; Meyer, K.; Freitag, M.
Book
2008Leistungsgestaltung
Freitag, M.; Husen, C. van
Book Article
2008Services visualisieren und in die Praxis umsetzen
Freitag, M.; Hermann, S.
Conference Paper
2008Testen von ästhetischen Faktoren in der Dienstleistungsentwicklung
Freitag, M.; Burger, T.
Book Article
2007Einführung neuer Dienstleistungsangebote auf internationalen Märkten
Freitag, M.
Conference Paper
2007Entwicklung und Management internationaler Dienstleistungen
Freitag, M.; Husen, C. van; Müller, R.
Study
2007Fazit und Schlussfolgerungen
Freitag, M.
Book Article
2007Innovationsfördernde Unternehmenskultur
Freitag, M.
Book Article
2007PerLe: Performanz-Leitbilder
Ganz, W.; Meiren, T.; Freitag, M.
Conference Paper
2007Rahmenkonzept zur Analyse
Freitag, M.
Book Article
2007ServLab live - Kunden- und Mitarbeiterfeedback einholen
Burger, T.; Freitag, M.; Hermann, S.
Conference Paper
2006Einfluss von Leitbildern auf das Innovationsverhalten von Unternehmen
Freitag, M.
Book Article
2006Entwicklung hybrider Dienstleistungen und Produkte
Freitag, M.; Ganz, W.; Korell, M.; Schnalzer, K.
Book Article
2006Ganzheitliches Engineering von Dienstleistungen
Husen, C. van; Freitag, M.
Book Article
2006Leitbilder - gelebte Werte oder nur Worte?
Freitag, M.; Ganz, W.; Graf, N.; Hudak, R.; Köhler, S.; Martinetz, S.; Meiren, T.
: Ganz, W.; Graf, N.
Study
2005Modularisierung
Freitag, M.; Husen, C. van
Conference Paper
2004Entwicklung und Implementierung von Dienstleistungen bei der AUDI AG
Endres, W.; Freitag, M.; Meiren, T.
Book Article
2004IT services
Freitag, M.; Husen, C. van
Conference Paper
2004Schnittstellenmanagement bei der Organisation der Dienstleistungsentwicklung
Freitag, M.
Book Article
2004Service Prototyping
Freitag, M.
Conference Paper
2004Umsetzung von Service Engineering bei Océ
Grabow, G.; Wurps, H.; Freitag, M.; Meiren, T.
Book Article
2003Dienstleistung - Leistungsangebot Entwicklung
Freitag, M.; Meiren, T.
Book Article
2003Dienstleistungsprozesse - Kundenorientierte Gestaltung von Abläufen
Freitag, M.
Book Article
2003Holistic development of new services
Freitag, M.; Meiren, T.; Wurps, H.
Conference Paper
2003The role of design concepts in service companies
Freitag, M.; Husen, C. van
Conference Paper
2003Systematische Entwicklung von Dienstleistungen am Beispiel der Medienbranche
Delp, M.; Freitag, M.; Meiren, T.
Book Article
2002Konzeption von Dienstleistungen
Freitag, M.
Book Article
2002Preisgestaltung bei Dienstleistungen
Freitag, M.; Miehlnickel, J.
Conference Paper
2002Service Engineering in der Praxis
Meiren, T.; Liestmann, V.; Freitag, M.
Book
2001Grundlagen der Dienstleistungsentwicklung
Freitag, M.; Schwengels, C.
Conference Paper
1999Information Representation in Cooperative Virtual Environments
Freitag, M.R.
: Gräff, A. (Prüfer); Felger, W. (Prüfer); Quick, J. (Prüfer)
Thesis
1997Personal user agents in a global network environment
Freitag, M.R.
: Peters, R. (Prüfer); Schiffner, N. (Prüfer)
Thesis
1997Prozeßorientiertes Qualitätsmanagement beim Elektronikschrott-Recycling
Moukabary, G.; Otten, H.; Crostack, H.-A.; Freitag, M.
Journal Article
1996Kfz-Recycling. Entwicklung einer integrierten QS- und Logistikstrategie
Otten, H.; Crostack, H.-A.; Freitag, M.
Journal Article