Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2005Demonstrators: A vital step forward for projection mask-less lithography (PML2)
Brandstätter, C.; Haugeneder, E.; Döring, H.-J.; Elster, T.; Heinitz, J.; Fortagne, O.; Eder-Kapl, S.; Lammer, G.; Jochl, P.; Löschner, H.; Reimer, K.; Saniter, J.; Talmi, M.; Eberhardt, R.; Krönert, K.
Conference Paper
2005Proof-of-concept tool development for projection mask-less lithography (PML2)
Döring, H.-J.; Elster, T.; Heinitz, J.; Fortagne, O.; Brandstätter, C.; Haugeneder, E.; Eder-Kapl, S.; Lammer, G.; Löschner, H.; Reimer, K.; Eichholz, J.; Saniter, J.
Conference Paper
2003Large-field particle beam optics for projection and proximity printing and for maskless lithography
Löschner, H.; Stengl, G.; Buschbeck, H.; Chalupka, A.; Lammer, G.; Platzgummer, E.; Vonach, H.; Jager, P.W.H. de; Käsmaier, R.; Ehrmann, A.; Hirscher, S.; Wolter, A.; Dietzel, A.; Berger, R.; Grimm, H.; Terris, B.D.; Brünger, W.H.; Gross, G.; Fortagne, O.; Adam, D.; Böhm, M.; Eichhorn, H.; Springer, R.; Butschke, J.; Letzkus, F.; Ruchhöft, P.; Wolfe, J.C.
Journal Article