Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2009Plasmagestütztes Hochrateätzen von Silikatgläsern mit variablem Ätzprofil
Bertz, A.; Fendler, R.; Schuberth, R.; Werner, T.; Gessner, T.
Conference Paper
2007A new method for high-rate deep dry etching of silicate glass with variable ETCH profile
Bertz, A.; Fendler, R.; Schuberth, R.; Hentsch, W.; Gessner, T.
Conference Paper
2006"SV in-line" equipment concept with uninterrupted stream of substrate carriers for reactive sputtered optical multi layer coatings
Hentsch, W.; Fendler, R.; Krug, M.; Liepack, H.; Goedicke, K.; Frach, P.; Gottfried, C.
Conference Paper
2001Reinigungsverfahren im Vergleich
Eckardt, T.; Fendler, R.; Gröninger, H.-B.; Grün, R.; Grund, I.; Reif, A.
Journal Article
1982On the investigation of d.c. plasmatron discharges by optical emission spectrometry
Schiller, S.; Heisig, U.; Steinfelder, K.; Strümpfel, J.; Voigt, R.; Fendler, R.; Teschner, G.
Journal Article