Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2008Recent improvements in the integration of field emitters into scanning probe microscopy sensors
Beuer, S.; Rommel, M.; Petersen, S.; Amon, B.; Sulzbach, T.; Engl, W.; Bauer, A.J.; Ryssel, H.
Conference Paper, Journal Article
2007High throughput manufacturing process of probes for sub-50nm scanning thermal microscopy
Richter, C.; Engl, W.; Weinzierl, P.; Sulzbach, T.; Beuer, S.; Petersen, S.; Stockmeyer, J.; Rommel, M.
Poster
2007Recent improvements in the integration of field emitters into scanning probe microscopy sensors
Beuer, S.; Rommel, M.; Petersen, S.; Amon, B.; Sulzbach, T.; Engl, W.; Bauer, A.J.; Ryssel, H.
Poster
2007Verfahren zur Erzeugung von Submikrometer-Strukturen an einer ausgepraegten Topographie
Lehrer, C.; Beuer, S.; Engl, W.; Richter, C.; Sulzbach, T.
Patent
1982Low pressure silicon epitaxy.
Krullmann, E.; Engl, W.L.
Journal Article