Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2001Essential reduction of stitching errors in electron-beam lithography using a multiple exposure technique
Steingrüber, R.; Engel, H.; Lessle, W.
Conference Paper
2001Impact of diamond geometry on removal mechanisms during machining of GaAs
Uhlmann, E.; Engel, H.; Hammer, R.; Paesler, C.
Conference Paper
2001Simulation von Fertigungsprozessen
Engel, H.; Szulczynski, H.; Zettier, R.
Journal Article
2000Auf der Schneide sitzen die Dividenden
Engel, H.; Brücher, M.
Journal Article
2000Feinbearbeitung nach Maß
Engel, H.; Kruska, M.
Journal Article
2000Fertigung von kleinen Strukturen
Engel, H.; Doll, U.
Journal Article
2000Investigations on the ductile mode surface formation in surface grinding of monocrystalline silicon
Uhlmann, E.; Spur, G.; Paesler, C.; Engel, H.
Conference Paper
2000Ökoeffiziente Reinigungstechnologien für die europäische Industrie
Engel, H.; Elbing, F.; Krieg, M.
Journal Article
1999Analysis and monitoring of turning and milling processes
Beule, D.; Herzel, H.; Engel, H.; Schöll, E.; Spur, G.; Uhlmann, E.; Krüger, J.
Conference Paper
1999Duktile Bearbeitung von Silicium-Wafern
Uhlmann, E.; Engel, H.; Paesler, C.
Journal Article
1999Single grain scratch tests on GaAs for the determination of relevant engaging parameters for a ductile material removal
Uhlmann, E.; Engel, H.; Hammer, R.; Paesler, C.
Conference Paper
1998Chip Formation and Sub-surface Damage in Ductile Mode Grinding of Semiconductors
Uhlmann, E.; Engel, H.; Paesler, C.
Conference Paper
1997Kennwerte des Werkzeugeingriffes beim Läppen spröder Werkstoffe
Spur, G.; Engel, H.
Journal Article
1997Läppen von einkristallinem Silicium
Engel, H.
Dissertation
1997Multilevel diffractive optical elements fabricated with a single amplitude-phase mask
Pawlowski, E.; Engel, H.
Journal Article
1996Fabrication of waveguide tapers by semitransparent mask photolithography
Wengelink, J.; Engel, H.
Conference Paper, Journal Article
1996Spanende Bearbeitung von Halbleiterwerkstoffen, Teilprojekt: Vergleichende technologische Untersuchungen zum Planparallelläppen und Zweiseiten-Planschleifen von Halbleiterscheiben
Spur, G.; Engel, H.
Report
1996Werkzeugeingriff und Oberflächenentstehung beim Läppen spröder Werkstoffe
Spur, G.; Engel, H.
Book Article
1995Application of smoothing techniques to relief-type resist surfaces generated by direct write electron-beam lithography
Engel, H.; Wengelink, J.; Steingrüber, R.
Conference Paper
1995Exposure and characterization of super structure gratings for DBR lasers generated by direct write electron-beam lithography
Steingrüber, R.; Engel, H.; Löffler, R.; Sakkas, C.
Conference Paper
1995Semitransparent mask technique for relief type surface topographies
Wengelink, J.; Engel, H.; Döldissen, W.
Conference Paper, Journal Article
1995Submicron InGaAs/InP MSM photodetectors for operation at 1.55 mu m
Umbach, A.; Droge, E.; Engel, H.; Bottcher, E.H.; Unterborsch, G.; Steingrüber, R.; Bimberg, D.
Conference Paper
1994Diffractive microlenses with antireflection coatings fabricated by thin film deposition
Pawlowski, E.; Engel, H.; Ferstl, M.; Furst, W.; Kuhlow, B.
Journal Article
1993Planläppen von keramischen Werkstoffen
Engel, H.
Conference Paper
1993Two dimensional array of AR-coated diffractive microlenses fabricated by thin film deposition
Pawlowski, E.; Engel, H.; Ferstl, M.; Furst, W.; Kuhlow, B.
Conference Paper
1991E-beam lithography for the microfabrication of OEICs
Engel, H.; Doldissen, W.
Conference Paper
1991Polarisation diversity waveguide network integrated on InP for a coherent optical receiver front-end
Heidrich, H.; Hamacher, M.; Albrecht, P.; Engel, H.; Hoffmann, D.; Imhof, D.; Nolting, H.-P.; Reier, F.; Weinert, C.M.
Conference Paper
1986Vision systems for character recognition in industrial applications
Jung, R.; Schreiber, L.; Engel, H.-K. von
Conference Paper
1983Patente nutzen statt selbst erfinden?
Engel, H.-K. von
Journal Article
1979Verfahren und Vorrichtung zur Perforation
Schaegg, O.; Rauch, W.; Engel, H.-K. von
Patent