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| 2019 | Herstellung nano-skalierter Gassensoren unter Verwendung neuer Metalloxid-ALD-Precursormaterialien
Knauß, Anna M.; Dietz, Dorothee; Jupe, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Mai, Lukas; Devi, Anjana | Conference Paper |
| 2018 | FunALD: Funktionale ultradünne Werkstoffe durch Atomlagenabscheidung für die nächste Generation der Nanosystemtechnik
Dietz, Dorothee | Journal Article |
| 2018 | Thin film ALD materials as functional layer for 3D-integrated metal oxide gas-sensors
Knauß, Anna M.; Münchenberger, Finja M.; Dietz, Dorothee; Jupe, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger | Conference Paper |
| 2017 | Entwicklung eines Hochtemperatur-Trench-Kondensators mit Hilfe von Methoden der Atomlagenabscheidung
Dietz, Dorothee
: Vogt, Holger (Erstgutachter); Fiedler, Horst-Lothar (Zweitgutachter) | Dissertation |
| 2016 | ALD-based 3D-capacitors for harsh environments
Dietz, Dorothee; Celik, Yusuf; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger | Conference Paper |
| 2016 | HOT-300 - a multidisciplinary technology approach targeting microelectronic systems at 300 °C operating temperature
Vogt, Holger; Altmann, Frank; Braun, Sebastian; Celik, Yusuf; Dietrich, Lothar; Dietz, Dorothee; Dijk, Marius van; Dreiner, Stefan; Döring, Ralf; Gabler, Felix; Goehlich, Andreas; Hutter, Matthias; Ihle, Martin; Kappert, Holger; Kordas, Norbert; Kokozinski, Rainer; Naumann, Falk; Nowak, Torsten; Oppermann, Hermann; Partsch, Uwe; Petzold, Matthias; Roscher, Frank; Rzepka, Sven; Schubert, Ralph; Weber, Constanze; Wiemer, Maik; Wittler, Olaf; Ziesche, Steffen | Conference Paper |
| 2016 | Materials and technologies to enable high temperature stable MEMS and electronics for smart systems used in harsh environments
Gabler, Felix; Roscher, Frank; Döring, Ralf; Otto, Alexander; Ziesche, Steffen; Ihle, Martin; Celik, Yusuf; Dietz, Dorothee; Goehlich, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Naumann, Falk; Geßner, Thomas | Conference Paper |
| 2015 | Entwicklung von Hochtemperatur Trench-Kondensatoren unter Verwendung von dünnen ALD-Dielektrika
Dietz, Dorothee; Celik, Yusuf; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger; Kappert, Holger | Conference Paper |
| 2015 | High-temperature trench capacitors, using thin-film ALD dielectrics
Dietz, Dorothee; Celik, Yusuf; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger; Kappert, Holger | Journal Article, Conference Paper |
| 2015 | High-temperature trench capacitors, using thin-film ALD dielectrics
Dietz, Dorothee; Celik, Yusuf; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger; Kappert, Holger | Conference Paper |