Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Verfahren zur Verarbeitung von Abbildungen von Halbleiterstrukturen, sowie zur Prozesscharakterisierung und Prozessoptimierung mittels semantischer Datenkompression
Demant, Matthias; Rein, Stefan; Kovvali, Aditya Sai; Greulich, Johannes; Wöhrle, Nico
Patent
2016Quality rating of silicon wafers - a pattern recognition approach
Demant, Matthias
: Weber, E.; Brox, T.
Dissertation