Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Verfahren und Vorrichtung zum Aufbereiten eines HNO3 enthaltenden flüssigen Prozessmittels
Zimmer, Martin; Dannenberg, Tobias; Kästner, Gero
Patent
2016Verfahren und Vorrichtung zur Strukturierung von Ober- und Unterseite eines Halbleitersubstrats
Volk, Anne-Kristin; Richter, Maxi; Zimmer, Martin; Dannenberg, Tobias; Seyhan, Ümit
Patent