Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Clamped-clamped in-plane electrostatic bending actuators in silicon-based microfluidic devices
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Schenk, Harald
Presentation
2018CMOS-kompatibler MEMS-Lautsprecher für Im-Ohr-Anwendungen
Conrad, Holger; Ehrig, Lutz; Kaiser, Bert; Schenk, Hermann; Schuffenhauer, David; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Conference Paper
2018Electrostatically Driven In-Plane Silicon Micropump for Modular Configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Journal Article
2018Mikromechanische Bauelemente mit mechanischen Aktuatoren
Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald; Uhlig, Sebastian
Patent
2018Smart and efficient optimization of NED actuators
Schuffenhauer, David; Gaudet, Matthieu; Conrad, Holger
Conference Paper
2017CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren
Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schenk, Harald
Conference Paper
2017Electrostactically in-plane driven silicon micropump for modular configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Conference Paper
2017Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap
Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Stolz, Michael; Arscott, Steve; Conrad, Holger; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Conference Paper
2017A novel electrostatic actuator technology for integrated RF MEMS and optical switches
Shashank; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Poster
2017Technological aspects of a new micro‑electro‑mechanical actuation principle: Nano‑e‑drive
Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Journal Article
2016MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben
Schenk, Harald; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Langa, Sergiu
Patent
2016A novel electrostatic actuator class
Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Journal Article, Conference Paper
2016A novel electrostatic micro-actuator class and its application potential for optical MEMS
Schenk, Harald; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schimmanz, Klaus
Conference Paper
2015About stress in filled DRIE-trenches
Kaiser, Bert; Drabe, Christian; Graßhoff, Thomas; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Grahmann, Jan
Journal Article
2015Characterisation of environmental influences on a new class of nano-actuators
Gerntrup, Marie-Louise
: Conrad, Holger (Betreuer)
Bachelor Thesis
2015A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections
Conrad, Holger; Schenk, Harald; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Stolz, Michael; Lenz, Miriam
Journal Article