Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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2017Ein Beitrag zur Simulation und Realisierung repetitiver Regelungsalgorithmen für elektrostatische quasi-statische Mikrospiegel
Che, Xingqi
: Schroedter, Richard (Betreuer); Janschek, Klaus (Betreuer)
Thesis
2017Repetitive flachheitsbasierte Folgeregelung von quasi-statischen Mikroscannern
Schroedter, Richard; Che, Xingqi; Roth, Matthias; Sandner, Thilo; Janschek, Klaus
Conference Paper
2017Repetitive flachheitsbasierte Folgeregelung von quasi-statischen Mikroscannern
Schroedter, Richard; Che, Xingqi; Roth, Matthias; Sandner, Thilo; Janschek, Klaus
Poster