Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2010Rotatable target serial co-sputtering
Szyszka, B.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Ulrich, S.; Vergöhl, M.; Werner, W.; Kaiser, A.; Jung, S.; Bringmann, U.; Bräuer, G.; Köhl, D.; Austgen, M.; Wuttig, M.; Weis, H.; Herwig, W.; Polle, A.; Herlitze, L.
Conference Paper
2003BESCHICHTETES SUBSTRAT GERINGER EMISSIVITAET
Szyszka, B.; Bierhals, A.; Bringmann, U.; Hoeing, T.
Patent
2003VERFAHREN ZUR REGELUNG VON REAKTIVEN SPUTTERPROZESSEN
Bringmann, U.; Hoeing, T.; Malkomes, N.; Szyszka, B.; Vergoehl, M.; Poeckelmann, R.
Patent
2001Large area deposition of transparent and conductive ZnO:Al layers by reactive mid frequency magnetron sputtering
Szyszka, B.; Höing, T.; Jiang, X.; Bierhals, A.; Malkomes, N.; Vergöhl, M.; Sittinger, V.; Bringmann, U.; Bräuer, G.
Conference Paper
2000TCO-coating of polymer substrates using reactive MF-magnetron sputtering of ZnO:Al layers
Szyszka, B.; Jiang, X.; Höing, T.; Pöckelmann, R.; Bringmann, U.; Bräuer, G.
Conference Paper
1997Entwicklung von transparenten und leitfähigen Oxidschichten
Weber, A.; Szyszka, B.; Bringmann, U.; Gadhesi, A.; Siegesmund, M.
Conference Paper
1993ECR plasma deposition of cubic nitride using n-trimethylborazine
Bringmann, U.; Nikulkski, R.; Klages, C.-P.; Weber, A.
Conference Paper
1993Electron cyclotron resonance plasma deposition of cubic boron nitride using N-trimethylborazine
Weber, A.; Bringmann, U.; Nikulkski, R.; Klages, C.-P.
Journal Article, Conference Paper
1993Growth of cubic Boron Nitride and Boron-Carbon-Nitrogen coatings using N-Trimethylborazine in an ECR plasma process
Weber, A.; Bringmann, U.; Nikulkski, R.; Klages, C.-P.
Conference Paper
1993Influence of a substrate bias on the formation of cubic boron nitride in an ECR plasma CVD process
Weber, A.; Bringmann, U.; Nikulkski, R.; Klages, C.-P.
Conference Paper
1993Influence of plasma activation on the deposition of Ti, TiN and Cu using metalorganic compounds
Weber, A.; Nikulski, R.; Bringmann, U.; Gernhuber, M.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.
Conference Paper
1993Low temperature deposition of TiN in an ECR plasma enhanced process
Weber, A.; Bringmann, U.; Nikulkski, R.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.; Gross, M.E.; Brown, W.L.; Charatan, R.M.; Dons, E.; Eaglesham, D.J.
Conference Paper
1992Influence of a RF plasma on the nucleation of aluminium using n-trimethy lamine-alane -TMAA- as precursor
Bringmann, U.; Klages, C.-P.; Weber, A.; Schiffmann, K.I.
Conference Paper
1992Plasma-deposition of BN, BCN-H and Me-BCN-H films using N-trimethylborazine -MeTi,Nb-
Weber, A.; Bringmann, U.; Klages, C.-P.; Taube, K.; Döllein, G.; Meyer, H.; Weidenbach, G.
Conference Paper
1992Verbundprojekt - Neue Dünnschichtverfahren durch "molecular engineering" metallorganischer Verbindungen. Teilvorhaben - Untersuchung der Plasmaparameter
Weber, A.; Bringmann, U.; Nikulski, R.; Klages, C.-P.
Conference Paper
1992Verfahren zur Abscheidung einer Bor und Stickstoff enthaltenden Schicht
Doellein, G.; Weidenbach, G.; Meyer, H.; Bringmann, U.; Weber, A.; Klages, C.-P.
Patent