Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012AMALITH: Advanced mask aligner lithography
Bramati, Arianna; Weichelt, Tina; Stürzebecher, Lorenz; Meliorisz, Balint; Vogler, Uwe; Voelkel, Reinhard
Conference Paper
2011Simulation tools for advanced mask aligner lithography
Bramati, Arianna; Vogler, Uwe; Meliorisz, Balint; Motzek, Kristian; Hornung, Michael; Voelkel, Reinhard
Conference Paper