Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2015Verfahren zum Erzeugen eines Plasmas
Fietzke, Fred; Klostermann, Heidrun; Blüthner, Ralf
Patent
2012Large area PECVD process using dual rotatable magnetrons
Fahland, M.; Neidhardt, J.; Thielsch, R.; Wahl, A.; Kleinhempel, R.; Blüthner, R.; Preussner, T.
Conference Paper
2012Nb2O5 and TiO2 thin films deposited by pulse magnetron sputtering of cylindrical ceramic targets
Preußner, T.; Blüthner, R.; Kopte, T.
Conference Paper
2010Recent developments with magnetron PECVD for industrial applications
Nyderle, R.; Fahland, M.; Blüthner, R.; Fahlteich, J.; Bunk, S.
Conference Paper
2010Vorrichtung zum Beschichten eines Substrates innerhalb einer Vakuumkammer mittels plasmaunterstützer chemischer Dampfabscheidung
Fahland, M.; Bunk, S.; Fahlteich, J.; Blüthner, R.; Zeibe, R.
Patent
2009Properties of plasma polymerized thin films deposited from hexamethyldisiloxane (HMDSO) by magnetron-assisted PECVD process
Nyderle, R.; Preußner, T.; Blüthner, R.; Pavic, D.
Conference Paper
2009Verfahren zum Erzeugen eines Plasmas mittels eines Magnetrons
Fietzke, F.; Klostermann, H.; Krätzschmar, B.-G.; Blüthner, R.
Patent
2008Cross-Magnetron-Effekt und ITO-Schichtabscheidung
Kupfer, H.; Richter, F.; Kleinhempel, R.; Blüthner, R.; Raubold, T.
Journal Article
2007Verfahren zur Herstellung eines Duennschichtsystems
Winkler, T.; Goedicke, K.; Bluethner, R.; Junghaehnel, M.; Buchberger, H.; Mueller, M.; Hebgen, A.; Schneider, H.
Patent
2004Verfahren und Einrichtung zur wechselweisen Abscheidung zweier Materialien durch Kathoden-Zerstaeubung
Winkler, T.; Goedicke, K.; Bluethner, R.; Liebig, J.
Patent
2004Verfahren zum Beschichten von Magnetspeicherplatten und danach hergestellte Magnetspeicherplatte
Buchberger, H.; Mueller, M.; Schneider, H.; Baur, H.; Lehnert, K.; Goedicke, K.; Winkler, T.; Junghaehnel, M.; Bluethner, R.
Patent
2001Antireflective and antireflective/antistatic layer systems deposited by Pulse Magnetron Sputtering technology (PMS)
Egel, M.; Winkler, T.; Blüthner, R.; Nyderle, R.
Conference Paper