Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2004Dry phosphorus silicate glass etching for crystalline Si solar cells
Rentsch, J.; Binaie, F.; Schetter, C.; Schlemm, H.; Roth, K.; Theirich, D.; Preu, R.
Conference Paper
2004Inline plasma etching of silicon oxides and nitrides for dry processing in silicon solar cell fabrication
Roth, K.; Rentsch, J.; Binaie, F.; Schetter, C.; Preu, R.; Schlemm, H.
Conference Paper