Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2006Geraet zur schnellen Messung winkelabhaengiger Beugungseffekte an feinstrukturierten Oberflaechen
Benesch, N.; Schneider, C.; Pfitzner, L.
Patent
2003Entwicklung eines integrierbaren optischen Meßsystems zur Kontrolle der Linienbreiten periodischer sub-Mikrometerstrukturen
Benesch, N.
Dissertation
2002Phi-scatterometry for integrated linewidth and process control in DRAM manufacturing
Hettwer, A.; Benesch, N.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Journal Article
2001Cost reduction strategies for wafer expenditure
Pfitzner, L.; Benesch, N.; Öchsner, R.; Schmidt, C.; Schneider, C.; Tschaftary, T.; Trunk, R.; Dudenhausen, H.-M.
Journal Article
2000Phi-scatterometry for on-line process control
Benesch, N.; Hettwer, A.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Broermann, O.; Marx, E.; Tegeder, V.
Conference Paper
2000Verfahren und Vorrichtung zur optischen Kontrolle von Fertigungsprozessen feinstrukturierter Oberflaechen in der Halbleiterfertigung
Benesch, N.; Schneider, C.; Pfitzner, L.
Patent
1999Application and cost analysis of scatterometry for integrated metrology
Benesch, N.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Conference Paper
1999Equipment and wafer modeling of batch furnaces by neural networks
Benesch, N.; Schneider, C.; Lehnert, W.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Conference Paper
1998Neuronale Modellbildung und Temperaturregelung eines Vertikalofens für die Halbleiterfertigung
Benesch, N.; Hofmann, U.; Schneider, C.; Ryssel, H.
Conference Paper