Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Plasmatechnik 4.0. Stand der Technik, Entwicklungen und Erwartungen
Ferse, K.; Awakowicz, P.; Beck, U.; Brand, C.; Engelstädter, J.P.; Fiedler, W.; Foest, R.; Kersten, H.; Lemmer, O.; Schäfer, H.-J.; Schwock, A.
Journal Article
2014Optical characterization of patterned thin films
Rosu, D.; Petrik, P.; Rattmann, G.; Schellenberger, M.; Beck, U.; Hertwig, A.
Conference Paper, Journal Article
2012Coatings of Ti and TiO2 with defined roughness for implants by gas flow sputtering
Lembke, U.; Körtge, A.; Neumann, H.-G.; Ortner, K.; Jung, T.; Lange, R.; Beck, U.
Conference Paper
2008Air-coupled ultrasonic applications of ferroelectrets
Bovtun, V.; Döring, J.; Wegener, M.; Bartusch, J.; Beck, U.; Erhard, A.; Borisov, V.
Journal Article
2004Realization and metrological characterization of thickness standards below 100 nm
Thomsen-Schmidt, P.; Hasche, K.; Ulm, G.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ade, G.; Stümpel, J.; Busch, I.; Schädlich, S.; Schindler, A.; Frank, W.; Hirsch, D.; Procop, M.; Beck, U.
Journal Article
2003Metrological characterization of nanometer film thickness standards for XRR and ellipsometry applications
Hasche, K.; Thomsen-Schmidt, P.; Krumrey, M.; Ade, G.; Ulm, G.; Stümpel, J.; Schädlich, S.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper
2002About the calibration of thickness standards on the nanometre scale
Hasche, K.; Ulm, G.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ade, G.; Stümpel, J.; Busch, I.; Thomsen-Schmidt, P.; Schädlich, S.; Schindler, A.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper
2002Ein Beitrag zu kalibrierten Nanometerschichten für unterschiedliche Anwendungsbereiche
Hasche, K.; Herrmann, K.; Thomsen-Schmidt, P.; Krumrey, M.; Ulm, G.; Ade, G.; Pohlenz, F.; Stümpel, J.; Busch, I.; Schädlich, S.; Frank, W.; Hirsch, D.; Schindler, A.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper
2002Film thickness standards on the nanometer scale
Hasche, K.; Ulm, G.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ade, G.; Stümpel, J.; Busch, I.; Thomsen-Schmidt, P.; Schädlich, S.; Schindler, A.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper
2001Thin layer measurements need reference standards
Hasche, K.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ulm, G.; Ade, G.; Thomsen-Schmidt, P.; Schädlich, S.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper
1999Interference phenomena at trasparent layers in glow discharge optical emission spectrometry
Hoffmann, V.; Kurt, R.; Kämmer, K.; Thielsch, R.; Wirth, T.; Beck, U.
Journal Article