Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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2001Absorption limited performance of SiO2/Al2O3 multi-layer coatings at 193nm - a systematic study
Thielsch, R.; Heber, J.; Kaiser, N.; Apel, O.; Mann, K.; Ristau, D.; Blaschke, H.; Arens, W.
Conference Paper
2000Nonlinear absorption phenomena in oxide coatings for 193 nm
Apel, O.; Mann, K.; Heber, J.; Thielsch, R.
Conference Paper
1999Charakterisierung optischer Komponenten für DUV Spektralbereich
Mann, K.; Apel, O.; Ristau, D.; Duparre, A.; Gliech, S.
Journal Article